판매용 중고 ASM MIR 3000 #9311068

ASM MIR 3000은 미국 엔지니어링 및 재료 과학 회사 인 ASM 인터내셔널 (ASM International) 에서 제조 한 확산 용광로 및 관련 액세서리입니다. 이 확산 로는 게이트 및 소스/드레인 영역, 컨택트 레이어, 실라이드 레이어, 도펀트 재배포 등 고급 반도체 부품 생산에 사용됩니다. MIR 3000은 작고 경제적인 패키지에서 뛰어난 재생성을 제공합니다. ASM MIR 3000 은 에너지 효율성이 우수하고 처리량이 최적화된 작은 설치 공간을 확보할 수 있는 독보적인 용광로 (furnace) 구조를 사용합니다. 퍼니스에는 2 개의 저열 질량 로드 락 챔버 (Lock Load Chamber) 가 장착되어 프로세스 전반에 걸쳐 향상된 온도 균일성과 반복 성을 제공합니다. 또한 MIR 3000 설계를 통해 안정화 시간이 빨라지고 사이클링이 빨라져 생산성이 향상됩니다. ASM MIR 3000은 모든 실리콘 및 III-V 응용 프로그램을 위해 설계된 확산 로입니다. 이 제품은 최대 1150 ° C의 작동 온도와 정밀한 환경 제어를 위해 최대 6 개의 대기 배달 소스를 위해 고도로 제어 가능한 대기를 갖추고 있습니다. 용광로에는 제어 침투를위한 향상된 동작 및 안내 시스템 (motion and guidance system) 과 처리량 증가를위한 더 큰 단면 (cross sectional area) 이 있습니다. 또한, MIR 3000은 안전 위험을 방지하기 위해 다양한 호흡 포트를 제공합니다. ASM MIR 3000 확산 로와 함께 ASM 은 모든 운영 요구 사항을 충족하는 전체 액세서리 라인을 제공합니다. 여기에는 냉각 암, 셔터 어셈블리, 인슐레이션 시스템, 프로세스 모니터링, 지원 소프트웨어, 하드웨어 등의 특수 열 관리 구성 요소가 포함됩니다. 이러한 항목은 효율성을 극대화하고, 다운타임을 최소화하고, 프로세스 매개변수를 철저하게 제어할 수 있습니다. MIR 3000 의 다용도, 탁월한 프로세스 제어 능력, 합리적인 크기 등으로 인해 테스트 실습실과 대용량 생산 설비 모두에 적합한 선택이 가능합니다. EMC 는 고급 프로세스 기능을 활용하여 생산량, 처리량, 반복 성능, 속도를 높일 수 있습니다. 소규모 프로세스나 대규모 프로세스용 확산 로를 찾고 있든, ASM MIR 3000 은 모든 반도체 요구 사항에 적합한 솔루션입니다.