판매용 중고 ASM MIR 3000 #9262042

ASM MIR 3000
ID: 9262042
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000은 상업용, 연구 및 산업 응용프로그램을 충족하도록 설계된 고도의 확산 로와 액세서리 장비입니다. 프로세스 효율성을 최적화하고 일관된 온도 균일성을 달성하기 위한 포괄적인 기능을 제공합니다 (영문). 특허 출원 중인 난방 (heating) 및 냉각 기술을 통해 MIR 3000은 정밀한 온도 조절이 필요한 솔더링 및 기타 확산 프로세스에 탁월한 성능을 제공합니다. ASM MIR 3000에는 용광로 시스템을 보완하기 위해 다양한 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 펄스 밸브 청소/제거 시스템, 퍼니스 라이너, 난방 후 청소 시스템, 비활성 가스 시스템, 비활성 가스 탱크 등이 포함됩니다. 모든 액세서리는 최대 프로세스 제어, 일관된 온도 안정성 및 장기 구성 요소 안전을 제공하도록 설계되었습니다. 프로세스 효율성 향상을 위해 MIR 3000 장치는 다양한 고급 메커니즘과 매개변수를 갖추고 있습니다. 여기에는 일관된 난방 및 냉각을 제공하는 브러시리스 (brushless) DC 팬 모터, 공정 온도를 조절하는 AutoFlow PID 컨트롤러 및 실시간으로 정밀 온도 피드백을 제공하는 도어 장착 온도가 포함됩니다. 또한, 기계에는 공정을 모니터링하고, 그에 따라 비활성 가스의 흐름을 조정하는 안전 과온 (safety over-temperature) 도구가 장착되어 있으며, 필요한 경우 자동으로 에셋을 종료합니다. ASM MIR 3000의 컴팩트한 디자인으로 비용 효율성과 에너지 절감 효과도 보장합니다. 밀봉 된 챔버는 11 구역 절연 모델을 특징으로하여 균일 한 온도와 효율적인 에너지 사용을 보장합니다. 또한, 이 장비는 에너지 비용을 절감하고 훨씬 더 큰 공정 효율을 제공하기 위해 고효율 공압 대류 가열 시스템 (Hneumatic convection heating system) 으로 설계되었습니다. 전반적으로 MIR 3000 확산 로와 액세서리 장치는 탁월한 효율성과 정확성을 제공합니다. 고급 기능, 메커니즘, 매개변수는 모두 함께 작동하여 일관된 온도 균일성, 제어 가능한 프로세스 흐름, 최대 비용 효율성을 제공합니다. 따라서, 기계는 업계에서 가장 정확한 표준을 모두 충족시킬 뿐만 아니라, 초과합니다.
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