판매용 중고 ASM MIR 3000 #9261811

ASM MIR 3000
ID: 9261811
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
CVD Furnace, 12" 2013 vintage.
ASM MIR 3000은 다양한 재료를 치료하는 데 사용되는 확산 프로세스를위한 전용 용광로입니다. 이 제품은 다양한 확산 관련 프로세스 (diffusion-related process) 에 최적화된 환경을 만드는 데 사용되는 여러 가지 구성 요소로 구성되어 있습니다. 확산 챔버 (diffusion chamber) 를 수용하는 주요 구성 요소는 모듈식 방식으로 구성된 견고하고 부식 내성 스테인리스 스틸 (Stainless-Steel) 구조로 만들어집니다. 따라서, 지정된 확산 프로세스에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있는 여러 가지 사용자 지정 구성이 가능합니다. 약실 (chamber) 은 특수한 저속 공기 흐름으로 가열되고 냉각되어 확산 공정에서 발생할 수있는 임계 온도에 도달하지 않고 확산 공정 (diffusion process) 을 따릅니다. 이를 통해 처리 중인 재료의 품질에 영향을 미치지 않고 확산 프로세스 (diffusion process) 가 발생할 수 있습니다. 약실 은 여러 가지 조절 가능 한 온도 를 포함 하도록 설계 되었는데, 이 온도 는 어떤 확산 과정 에 필요 한 조건 을 제공 하도록 "프로그램 '될 수 있다. 이를 통해 매개변수를 지속적으로 조정할 필요 없이 프로세스 (process) 를 수행할 수 있습니다. MIR 3000에는 퍼니스 컨트롤러 (furnace controller) 및 고성능 진공 펌프 (HPP) 와 같은 확산 챔버를위한 다양한 액세서리도 포함되어 있습니다. 고성능 진공 펌프 (vacuum pump) 는 기계에 전체 확산 과정에서 압력과 온도 균일성을 유지할 수있는 기능을 제공합니다. 이렇게 하면 처리 중인 재료가 일관되게 처리되도록 할 수 있습니다. 컨트롤러는 컴퓨터 기반 시스템 (computer-based system) 으로서 확산 프로세스와 관련된 온도, 진공 (vacuum) 및 기타 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 특정 확산 프로세스 (diffusion process) 에 대한 매개변수를 조정할 수 있으며, 이는 전체 프로세스 동안 정밀도와 정확도를 제공합니다. 또한 ASM MIR 3000 을 사용하면 모든 조각을 쉽게 분해하여 다시 정리할 수 있으므로 유지 보수가 쉽습니다. 따라서 새 부품과 조각을 주문하지 않고도 시스템을 수리, 서비스하는 것이 더 쉬워집니다. 요약하자면, MIR 3000 은 다양한 확산 관련 프로세스 (diffusion-related process) 를 위해 최적화된 환경을 구축하도록 설계된 몇 가지 맞춤형 기능을 갖춘 전용 확산 로입니다. 저속 공기 흐름 가열 및 냉각, 조절 가능한 온도, 용광로 컨트롤러, 고성능 진공 펌프 (vacuum pump) 를 갖추고 있어 정확성과 정확성을 유지합니다. 모든 부품은 안전하게 제작되며 필요할 때 쉽게 배포 및 수리 할 수 있습니다.
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