판매용 중고 ASM MIR 3000 #9259684
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9259684
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
CVD Furnace, 12"
Dual chambers
EFEM
XP Platform
2011 vintage.
ASM MIR 3000은 연구 및 생산 프로세스를 위해 설계된 고온 진공로 및 이미징 장비입니다. Si 집적 회로 처리 및 패키지 장치, 고온 산화, 증착, 열 어닐링, 도펀트 활성화 등과 같은 광범위한 응용 분야에 사용됩니다. MIR 3000 (MIR 3000) 은 사용이 간편한 그래픽 인터페이스를 통해 실험실과 산업용 어플리케이션 모두에 적합한 강력한 자동 시스템입니다. ASM MIR 3000 은 다양한 실행 환경을 갖춘 듀얼 웨이퍼 (dual wafer) 기능을 제공하며, 사용자는 별도의 프로세스 레시피를 로드하고 이를 독립적으로 실행할 수 있으며, 정확한 온도 조절 및 강제 냉각 세그먼트에 대한 제어 기능을 제공합니다. 핫 존의 온도 동질성을 모니터링하기 위해 열전자와 추가 콜드 월 튜브 (cold-wall tube) 가 있으며, 이는 최대 1650례입니다. "가스 '흐름 은 최적 균일성 에 맞게 정확 하게 조정 될 수 있으며" 핫 존' 덮개 의 가변 위치 는 여러 가지 과정 에 대한 정밀 한 압력 조절 을 제공 한다. MIR 3000에는 온보드 E-beam 및 웨이퍼 카세트, 다중 입자 검출기, 내장 웨이퍼 스테이지 및 주파수 기반 웨이퍼 방향이있는 고해상도 이미징 장치도 있습니다. 또한 On-demand Wafer Ordering, 실시간 프로세스 모니터링 및 제어, 레시피 생성 등 모든 자동화 기능을 갖추고 있습니다. ASM MIR 3000은 유지 보수 및 서비스 용이성을 위해 설계되었습니다. 부품 교체를 쉽게 할 수 있는 모듈식 (modular) 설계가 적용되었으며, 온도 변동으로 인한 효율적인 냉각기 (cooling machine) 가 다운타임을 줄여줍니다. MIR 3000에는 작동 제어 핫 존 도펀트 활성화, 자동 압력 및 온도 조절과 같은 수많은 안전 기능도 있습니다. 프로세스 연속성 및 반복 가능성을 극대화하기 위해 ASM MIR 3000 은 지속적으로 모니터링되고 조정되어 오버프레이 (overpray) 또는 아웃게싱 잔류 (outgassing residue) 의 구축을 방지합니다. 통합 진공 연동 도구 (Integrated Vacuum Interlock Tool) 는 안전한 작동을 제공하며 모니터링 시스템에서 눈에 띄지 않는 프로세스 오작동을 경고합니다. 전반적으로, MIR 3000은 다양한 생산 및 연구 응용을위한 다재다능하고 강력한 자산입니다. 이 제품은 안정적이고 안정적인 성능, 자동화된 프로세스, 온도, 압력, 흐름을 정확하게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모델의 다른 구성 요소는 사용자 친화적이며, 프로덕션 환경의 다른 구성 요소와 쉽게 통합할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 최대한의 수율로 프로세스 균일성 (process unifority) 을 얻을 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다