판매용 중고 ASM MIR 3000 #9235099

ASM MIR 3000은 Czochralski (Cz) 방법을 사용하여 monocrystalline silicon ingot의 생산을 위해 특별히 설계된 선구적인 저온 확산 퍼니스입니다. 빠른 냉각 기능과 정교한 제어 로직 (control logic) 을 갖춘 혁신적인 에너지 절약형 유도 가열 시스템을 갖추고 있습니다. 탁월한 프로세스 안정성, 성능, 보다 균일한 제품 품질을 제공하도록 설계되었습니다. MIR 3000에는 설치, 운영 및 유지 보수가 용이하도록 설계된 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있습니다. 또한 프로세스 내 (in-process) 모니터링 및 분석을 통해 일관되고 잘 정의된 재현 가능한 프로세스를 자동으로 수행할 수 있습니다. 4 가지 모니터링 및 프로세스 제어 시스템 (monitoring and process control system) 은 자세한 통계적 프로세스 제어를 제공하여 속성의 변화와 결과의 균일성이 낮습니다. ASM MIR 3000의 작동 온도는 최대 2,000 ° C이며, 가열 소스는 3 상 모터 발전기로, 1,800-2,000 ° C의 범위에서 효율적이고 균일 한 가열을 가능하게합니다. 또한 강제 아릴화 냉각에서 최대 80 ° C/분, 물 quench 냉각까지 다양한 냉각 옵션이 있으며, 냉각 속도는 최대 23 ° C/분입니다. 빠른 냉각 기능은 잉고트에서 결정화 (crystallization) 와 분리 (segregation) 를 피하는 데 도움이됩니다. MIR 3000에는 쿼츠 히터, 인덕터 코일, 온도와 암페어 제어 시스템 등 추가 지원 장비가 장착되어 있습니다. 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 를 통해 프로세스 시간, 보류 시간, 난방 속도 등 주요 매개변수를 쉽게 설정하고 조정하여 고품질 제품을 확보할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 상세한 프로세스 관리 데이터를 제공하며 멀티스텝 프로그래밍 및 실행을 허용합니다. 전반적으로, 이것은 ASM MIR 3000을 monocrystalline silicon ingot을 생산하기위한 이상적인 확산 용광로로 만듭니다. 탁월한 프로세스 안정성, 빠른 냉각 기능, 효율적인 제어 시스템을 통해 안정적이고 경제적인 운영 장치로 자리잡았습니다. 연구 및 산업 대용량 생산에 사용하기에 적합합니다.