판매용 중고 ASM MIR 3000 #9228941

ASM MIR 3000은 산화물 및 질화물 성장을 포함한 다양한 공정을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 안정적이고 경제적인 난방 기술, 매우 정확한 온도 조절, 고급 가스 제어 시스템 등을 갖추고 있습니다. MIR 3000은 또한 근로자와 장비 모두를 보호하기 위해 많은 안전 시스템을 갖추고 있습니다. ASM MIR 3000은 최고 (top-loading) 난로를 특징으로하며, 일관된 처리 결과를 보장하기 위해 최대 열 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 최대 1500 ° C까지 가열 할 수있는 2 개의 독립적 인 가열 존 (heating zone) 이 있으며, 각 존에서 필요에 따라 다른 온도를 설정할 수 있습니다. 온도 조절 측면에서 MIR 3000은 20 단계 프로그래밍 가능한 난방 프로파일과 빠른 열 주기로 최대 1600 ° C (초 또는 분) 의 온도 수준에 도달 할 수있는 고급 Rapid Thermal Processing 기술을 제공합니다. 퍼니스에는 고급 가스 제어 시스템 (gas control system) 과 증발로 인한 가스 투과성 및 손실을 줄이는 다층 가스 타이트 표면 (multi-layer gas-tight surfaces) 도 포함됩니다. 추가 안전을 위해 ASM MIR 3000에는 여러 개의 이중 진공 인터 록 (interlock) 과 적외선 및 피로미터 시스템 (pyrometer system) 이 있습니다. MIR 3000 은 여러 재료와 결합하여 프로세스 패키지를 구성하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 아키텍처 기반 프로세스 설계 (architecture-based process design) 로 알려진 이 방식을 통해 운영자는 매개변수를 세밀하게 조정하고 응용 프로그램에 따라 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. ASM MIR 3000은 또한 용광로 작동을 단순화하고 프로세스 결과를 최적화하기 위해 설계된 다양한 CPC (computer-aided process control) 소프트웨어 프로그램과도 호환됩니다. 여기에는 사전 프로그래밍, 다중 영역 제어, 프로세스 모니터링, 데이터 로깅 등 다양한 기능이 포함됩니다. 결론적으로, MIR 3000은 다양한 프로세스를 위해 설계된 고품질의 다목적 확산 로와 액세서리입니다. 안정적이고 경제적인 난방 기술, 정확한 온도 조절, 고급 가스 제어 시스템, 아키텍처 기반 프로세스 설계 등을 제공합니다. 또한 CPC 소프트웨어 지원을 통해 사용자 오류를 최소화하고 확산 과정에서 효율성을 극대화할 수 있습니다.