판매용 중고 ASM MIR 3000 #9228362

ASM MIR 3000
ID: 9228362
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Furnace, 12" 2010 vintage.
ASM MIR 3000은 고온 어플리케이션에 적합한 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 안전 (Safe) 및 제어 (Controlled) 환경에서 효율적인 생산 프로세스를 만들도록 설계되었으며, 모듈식 설계를 통해 다양한 어플리케이션을 위한 다용도 도구입니다. 시스템의 주요 구성 요소는 수직으로 삽입 된 확산로, 열 증발기 및 감수기 지원입니다. 용광로는 비 자성 물질로 만들어졌으며, 석영 관, 엔드 캡 부울 및 각각의 물개가 포함됩니다. 용광로에는 피드 스루 (feed-through) 가 내장되어 있어 재료 및 공구 로드 및 언로드를위한 처리 실에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 열 증발기는 내열성이 강한 알루미나-세라믹 튜브로 구성됩니다. 내부 열전대는 온도를 정확하게 모니터링하기 위해 통합되었습니다. 지원 구조는 개별 어플리케이션에 맞게 조정할 수 있는 지원 (supports) 이 있는 강철 섀시로 구성됩니다. 확산 로의 반응 챔버 (reaction chamber) 는 한 번에 여러 조각을 수용하기에 충분히 크다. 그것은 온도가 높은 열에 대한 전자 빔 히터 (electron-beam heater) 를 균일 하게 가지고 있습니다. 방은 가압되고, 흑연 단열은 난방 과정을 촉진하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 다양한 어플리케이션에 대해 W 대 T 비율을 조정할 수있는 조정 가능한 토치가 포함되어 있습니다. 안전하고, 통제된 확산 처리를 위해, 챔버는 외장으로 통풍되고, 조절 가능한 공기 흐름 스위치가 장착된다. 이 기계는 안전하고 효율적인 작동을 위해 고급 안전 (Safety) 및 모니터링 (Monitoring) 기능을 갖추고 있습니다. 온도 조절을위한 여러 개의 열전대 (thermocouple) 와 정확한 재료 분석을위한 분광계가 있습니다. 재료 로딩 및 언로드는 통합 피드 스루 (feed-through) 를 통해 수행되며, 전달 메커니즘은 반응 챔버에서 분리됩니다. 또한, "서셉터 '에는 고온 과 가능 한 진동 에도 불구하고 적정 한 위치 에 머물도록 위치 조절 도구 가 장착 된다. MIR 3000 (MIR 3000) 은 상업 및 산업 응용 분야를 위해 설계되었으며 고온 공정의 연구 개발에도 사용됩니다. 모듈식 설계를 통해 자산을 개별 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 강력한 구성과 효율적인 운영 덕분에, ASM MIR 3000 은 고온 어플리케이션을 위한 안정적이고 안정적인 솔루션입니다.
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