판매용 중고 ASM MIR 3000 #293639066

ASM MIR 3000
ID: 293639066
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
CVD Furnace, 12" Chamber 2010 vintage.
ASM MIR 3000은 안정적이고 비용 효율적인 처리를 제공하는 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 확산 프로세스를위한 깨끗한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 저합금 및 비 합금 강철 기판 응용뿐만 아니라 금속성 코팅에도 사용될 수있는 고온 비활성 대기를 사용합니다. MIR 3000은 처리 중에 일관된 출력과 균일 한 온도를 보장하도록 설계된 고급, 고정밀 (high-precision) 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 온도 조절 (temperature control) 과 정확도를 통해 원하는 온도에 쉽게 조정하고 최적의 효율을 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 신속하고 정밀도가 높은 컴퓨터 제어 센서로, 장애를 정확하게 감지하고, 문제를 해결하고, 보고하여 즉시 해결할 수 있습니다. ASM MIR 3000은 최대의 유연성과 사용 편의성을 위해 설계되었습니다. 프로세스 사이클 프로파일링 (process cycle profiling), 경보 설정 (alarm setting) 등 다양한 작동 모드와 고급 제어 옵션을 제공합니다. 또한 열 분석 (thermal analysis) 및 모니터링 (monitoring) 을 통해 용광로 및 정확한 온도 추적의 여러 부분에서 온도의 균일성을 보장합니다. 이 장치에는 프로세싱이 완료된 후 빠르고 안전한 정지를 보장하는 강력한 냉각기 (cooling machine) 가 있습니다. 또한 보호 랙 (protective rack) 을 포함하여 확산 과정에서 기판이 안전하게 고정됩니다. 이 퍼니스는 비상 정지 기능, 전기 기계 프로세스 인터 록 (electromchanical process interlock) 및 온도 및 청소를 모니터링하는 폐쇄 루프 (closed-loop) 도구를 갖춘 안전성을 염두에두고 설계되었습니다. 추가 편의를 위해 MIR 3000에는 플랜지 및 센서, 서모커플, 피팅, 어댑터 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 전반적으로, ASM MIR 3000은 안전성 및 신뢰성과 결합 된 고정밀 확산 처리를 제공 할 수있는 고급 확산 용광로 자산입니다. 합금 및 비 합금 강철 기판에 사용하기 쉽고, 저렴하며, 매우 효율적입니다.
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