판매용 중고 ASM MIR 3000 #293639064

ASM MIR 3000은 최대 3 인치 두께의 얇고 두꺼운 기판을 빠르고 균일하게 가열하도록 특별히 설계된 최첨단 확산 퍼니스입니다. 내구성이 뛰어나고 견고한 이 장비는 2,000 ° C의 온도를 처리할 수 있으므로 금속 에칭, 산화물 성장, 도펀트 활성화 (dopant activation) 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. MIR 3000 은 인라인 (in-line) 전원 제어 시스템을 통해 전체 에칭 프로세스 전반에 걸쳐 정밀하고 일관된 전력 공급을 지원합니다. 이것은 균일 한 난방, 균일 한 에치 속도 및 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 장치는 또한 강력한 강제 팬 순환 머신 (forced-fan circulation machine) 을 통합하여 반응 챔버를 지속적으로 순환하고 대피시켜 탄소 확산 및 더 높은 열 질량 부하 영향을 제거합니다. 용광로의 고급 디자인은 대형의 균일 한 가열을 허용하는 반면, 효율적인 나선형 저항 난방 코일 (helical resistance hearth coil) 은 균일 한 전도 및 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. 난로 코일 (hearth coil) 은 자가 지지 구조로 수용되며, 용광로에 큰 기판이 적재 될 때 매달린 (hang-off) 또는 여분의 무게가 제거됩니다. 또한 ASM MIR 3000은 프로그래밍 가능한 디지털 디스플레이, 메모리 기능이있는 사용자 친화적 인 프로그래밍 가능한 중앙 처리 장치, 편리한 프로세스 관리를 위한 손쉬운 소프트웨어 등의 편리한 기능을 제공합니다. 비상진단 (Emergency Shutdown), 방사선 모니터링 (Radiation Monitoring) 기능 등 운용을 보장하고 잠재적 사고를 피할 수 있는 다양한 안전 기능도 갖추고 있다. MIR 3000은 화학 증기 증착 (CVD), 빠른 열 처리 (RTP), 에칭 및 베타 테스트를 포함한 산업 공정 및 다양한 테스트 실험실을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 온도 범위로 인해 ASM MIR 3000은 다양한 어닐링 응용 프로그램에서도 사용될 수 있습니다. 전반적으로, MIR 3000은 다목적 확산 로로, 최대 3 인치 두께의 기판을 일관되고 안정적으로 처리 할 수 있습니다. 이 견고한 확산로 (diffusion furnace) 는 바쁜 산업 및 실험실 요구에 이상적인 선택이며, 비용 절감 및 효율적인 운영을 제공합니다.