판매용 중고 ASM MIR 3000 #293615954

ASM MIR 3000 (ASM MIR 3000) 은 복잡한 증착 및 처리 작업에 대한 탁월한 성능과 고급 제어를 위해 설계된 확산 로입니다. 이 강로 (furnace) 는 완벽하게 제어된 난방 프로파일과 함께 빠른 난방 (heating) 및 냉각을 제공하여 정확성과 반복성을 갖춘 하이엔드 디바이스 생산을 가능하게 합니다. MIR 3000은 단일 히터 챔버 (heater chamber) 를 통해 완전한 온도 제어를 제공하는 독특한 듀얼 챔버 (dual chamber) 장비를 사용하는 에너지 효율적인 설계를 갖추고 있습니다. 이 이중 챔버 시스템은 높은 정확도, 진공 및 공정 제어를 통합 한 중앙 제어 챔버 (central control chamber) 가있는 2 개의 큰 어닐링 존으로 구성됩니다. 이 설계는 용광로 챔버 (furnace chamber) 내의 모든 영역에서 균질한 온도 분배를 보장합니다. ASM MIR 3000 은 고급 2 구역 확산 난방 프로파일을 사용하여 증착 과정의 난방 기간 (가열 기간) 과 냉각 기간 (냉각 기간) 을 보다 정확하게 조절할 수 있습니다. 결과적으로, 더 큰 표면에서 균일하고 반복 가능한 필름 두께를 달성하여 뛰어난 성능을 얻을 수 있습니다. 이 장치는 최대 3100 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 다양한 고급 재료 (advanced materials) 에서 고온 응용이 가능합니다. 용광로 (furnace) 는 최대 사용자 보호를 보장하기 위해 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. "박스 '모양 의 절연 설계 는 열손실 을 줄이는 데 도움 이 되며, 통합 보호 기계 는 작동 중 에" 챔버' 가 열리지 않도록 보장 해 준다. 자동 주기 종료 (End-of-cycle) 열 차단 기능은 챔버가 과열되지 않도록 합니다. MIR 3000에는 자동 프로세스 제어 도구 (Automatic Process Control Tool) 가 포함되어 있어 반복 가능한 난방 프로파일을 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 직관적인 Control Center 소프트웨어를 통해 운영자는 온도, 시간, 압력, 가스 사용 및 기타 프로세스 관련 정보와 같은 매개 변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어는 프로세스 관련 데이터를 실시간으로 모니터링하고 관리할 수 있는 강력한 시각화 (Visualization) 기능을 제공합니다. 전반적으로 ASM MIR 3000 은 고급 디바이스 생산에 이상적인 툴로서, 탁월한 성능과 정확한 온도 조절 기능을 제공합니다. 첨단 열 분배 기능, 신뢰성 있는 온도 조절 기능, 직관적인 제어 시스템 (CRC) 을 갖춘 이 확산 로는 뛰어난 정확도를 지닌 하이엔드 (High-End) 장치를 생산할 수 있는 강력한 도구입니다.