판매용 중고 ASM Furnace #195512

ASM 퍼니스 (ASM Furnace) 는 실리콘 장치 제작 프로세스의 발전하는 요구를 충족시키기 위해 설계된 확산 퍼니스입니다. 저온 균일성 (low-temperate uniformity) 및 고정밀 온도 제어는 다양한 응용 프로그램에서 일관된 난방 프로세스와 안정적인 작동을 제공합니다. 이것은 MEMS 장치, 집적 회로, 박막 트랜지스터와 같은 마이크로 전자 장치의 제작에 이상적입니다. ASM Furnace는 고급 공기 또는 수소 제거 대기 디자인을 갖추고 있습니다. 이를 통해 Furnace는 산소 또는 이산화황이없는 대기에서 500 ° C - 1200 ° C 사이에서 작동 할 수 있습니다. 이를 통해 ASM 퍼니스 (ASM Furnace) 전체에서 저온 균일 한 열 분포를 허용하므로 매우 정확한 온도 조절이 가능합니다. 용광로 (Furnace) 에는 공정 센서, 열 격리 (thermal isolation), 고온 환경으로부터 내부 부품을 보호하기 위한 열 차폐 (thermal shield) 와 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. ASM 로드 록은 오염을 최소화하면서 기질의 균일 한 가열을 허용합니다. 로드 락은 또한 기질이 퍼니스 (Furnace) 로 들어가기 전에 대기에서 가스와 입자를 제거하여 ASM 퍼니스 (ASM Furnace) 작업 중에 아웃게싱을 방지합니다. 즉, 기판은 챔버에 들어가기 전에 증착 과정에 대해 준비됩니다. ASM 확산 ASM Furnace에는 온도 조절을위한 고성능 스테핑 모터도 포함되어 있습니다. 스테핑 모터와 통합된 수평 (horizontal) 설계를 통해 증착 공정을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이것은 또한 열 폭주없이 최대 1200 ° C의 온도까지 기질의 정확한 가열을 가능하게한다. 데이터 정확성을 높이기 위해 Furnace는 민감한 열 이미징 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 온도 판독값을 기록하고 필요한 경우 ASM 퍼니스 (ASM Furnace) 에서 온도 조절 시스템을 활성화할 수 있습니다. 또한 고급 소프트웨어 (Advanced software) 는 확산 과정에서 기판의 열 안정성에 대한 자세한 분석을 제공합니다. 퍼니스는 또한 MoSi2 (Molybdenum disilicide) 히터 쉴드 어셈블리로 구성된 난방 요소로 설계되었습니다. 히터 쉴드 (heater-shield) 는 컴포넌트를 더 큰 온도로부터 보호하고 열 폭주를 방지합니다. 또한, ASM 퍼니스 (ASM Furnace) 에는 냉각 팬과 필터가 장착되어 있어 장치를 시원하게 유지하고 먼지 축적이 불가능합니다. ASM 확산 용광로에는 최적의 작동을 위해 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이러한 액세서리에는 가스 제어 장치, 로드 락 셔터, 비활성 가스 공급 시스템, 샘플 지원 기계 및 배기 도구가 포함됩니다. "가스 '조절 장치 를 이용 하면 확산 과정 에 사용 되는" 가스' 의 종류 와 대기 중 의 "가스 '의 농도 를 조절 할 수 있다. 샘플 지원 (sample support) 에셋을 사용하면 챔버 내에 기판을 정확하게 배치하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다.