판매용 중고 ASM ETW-450 #9200208

ASM ETW-450은 가스 종을 고체 물질에 도입하는 데 사용되는 고급 확산 로입니다. 고체 단결정 (solid single crystal) 과 얇은 필름 (thin film) 의 형태로, 광범위한 반도체 재료의 곡물 구조에 비소, 인 (phosphorus) 과 같은 도펀트 요소를 통합 할 수있는 강력하고 다재다능한 도구입니다. 이 시스템은 주 용광로 장치, 아닐러 (annealer) 및 도핑 프로세스를위한 관련 챔버로 구성됩니다. 용광로 챔버에는 흑연 단열재 (graphite insulation) 가 늘어서 있으며, 애닐러에는 흑연 보트 베이스가 장착되어 있습니다. 애닐러의 열 균일성은 공기 순환에 의해 보장됩니다. 또한, 도펀트 통합 공정의 효율성을 높이기 위해 시스템을 핫 월 (hot wall) 또는 콜드 월 (cold wall) 타입 아토마이저 (atomizer) 와 인터페이스 할 수 있습니다. 용광로는 단일 단계 또는 2 단계 구성으로 작동 할 수 있습니다. 단단 작동에서, 가스 종은 용광로의 뜨거운 구역에 주입되며, 여기서 최대 1000 ° CAE 온도가 달성된다. 그런 다음 결과 종은 샘플 물질로 확산됩니다. 2 단계 작동에서, 가스 종은 최대 150 ° CAE 온도가 도달 한 용광로의 차가운 구역에 처음으로 주입된다. 이것은 도펀트를 샘플의 특정 또는 여러 핫 존으로 현지화합니다. "도펀트 '를 국소화 하는 데 필요 한 수준 을 달성 한 후 에, 뜨거운" 존' 의 온도 가 작동 원하는 온도 로 올라가므로, "가스 '종 을 표본 물질 로 확산 시킨다. ETW-450에는 백필 이너트 가스 제어 (backfilled inert gas control), 모니터링 온도 및 압력 센서, 디지털 가스 제어 (digital gas control) 와 같은 안전한 작동 환경을 보장하는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 사실상, 이 "시스템 '은 효율적 이고 안전 한 방법 으로 도펀트' 원소 를 반도체 재료 로 증착 시킨다. 신뢰성 있는 성능과 결합된 유연성 (Flexibility) 을 통해 우수한 결과를 얻을 수 있으며 제조 공정의 반복 가능성을 보장할 수 있습니다.