판매용 중고 ASM Advance 300 VT #9206104
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ID: 9206104
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller:
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VT는 금속 처리를 위해 안정적이고 고정밀 분위기를 제공하도록 설계된 차세대 확산 로입니다. 다양한 액세서리가 장착되어 있어 경화 (hardening), 강화 (tempering), 어닐링 (annealing), 코팅 (coating), 카버링 (carburizing) 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 용광로는 무거운 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 장수와 신뢰성에 대한 견고한 디자인이 있습니다. 그것 은 최고 의 정확도 를 보장 하기 위하여 별도 의 확산 "챔버 '를 갖추고 있다. 사용하기 쉬운 터치 스크린 컨트롤도 포함되어 있어 정확한 온도 및 대기 조절이 가능합니다. 100 리터의 활성 부피로 Advance 300 VT는 최대 1 350 ° C (2 460 ° F) 까지 가열 할 수 있으며 25 ° C (77 ° F) 와 1 350 ° C (2 460 ° F) 사이의 온도로 조정할 수 있습니다. 또한 강력한 난방 요소와 수냉식 시스템 (water cooling system) 을 갖추고 있어 신속하고 제어되는 열 주기를 보장합니다. 액세서리 측면에서 ASM Advance 300 VT 는 고객의 요구에 맞게 조정할 수 있는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 제곱 (square) 및 라운드 (round) 버전을 포함하여 도가니 처리를위한 다양한 도가니 구성이 제공됩니다. 또한 전환 가능한 산소 프로브 (switchable oxygen probe) 가 포함되어 있는데, 이 프로브는 달리는 동안 가스의 산소 농도를 감지하고 그에 따라 조정 할 수있다. 다른 선택적 액세서리로는 스테인리스 스틸 필터 장치, 온도 센서, 냉각수 유량 미터, 경화, 강화 및 어닐링을위한 멀티 칼럼 트레이, 도가니 용 특수 피로미터, 비 산화 재료 치료를위한 진공 시스템이 있습니다. Advance 300 VT는 정확성과 성능에 적합한 강력한 확산 로입니다. 넓은 "액세서리 '를 갖춘 그것 은 금속 처리 를 위한 훌륭 한 도구 이다. 다양한 전문 애플리케이션 (Professional Application) 과 산업용 애플리케이션 (Industrial Application) 에 적합하며 안정적인 결과와 장기적인 성능을 제공합니다.
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