판매용 중고 ASM Advance 300 VT #9206101

ASM Advance 300 VT는 ASM International에서 제조 한 확산 용광로 및 액세서리 시스템입니다. 반도체 연구 및 제조, MEMS 연구 및 제조, 태양 전지 생산 등 다양한 응용 분야에 적합한 구성 요소를 통합하는 모듈식 (modular), 종합적인 에칭 및 증착 시스템으로 설계되었습니다. Advanced 300 VT에는 성공적인 확산 용광로 작동을 위해 몇 가지 중요한 기능이 있습니다. 진공 확산 로, 단단 저압 공정 챔버, 온도 조절을위한 피로미터 및 열전대, 저항 가열 서셉터 등이 장착되어 있습니다. 퍼니스에는 가스 배기 제어를 위해 독립적으로 제어 된 피로미터도 포함되어 있습니다. 가열 (heating) 및 냉각 (cooling) 주기의 낮은 전력 소비로 인해 에너지 소비량이 매우 낮아 전체 비용을 절감할 수 있습니다. 이 프로세스에 대한 보다 정확한 제어를 위해 Advanced 300 VT (Advanced 300 VT) 에는 온도 변화 속도를 제어하기위한 디지털 Varian 801 소스와 프로세스 매개변수의 실시간 제어를 위한 온보드 마이크로 프로세서가 포함되어 있습니다. 마이크로프로세서는 또한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 또는 PLC (Programmable Logic Controller) 와 함께 사용되어 확산 용광로 매개변수를 쉽게 조정합니다. 용광로는 기판 정렬 및 온도 프로파일을 모두 제어하기 위한 On-Wafer 스캐너 (On-Wafer scanner) 와 같은 다른 장비와 완벽하게 통합됩니다. 또한 자동 온도 제어 (auto-temp control) 및 흐름 제어 (flow control) 와 같은 완벽한 균일성을 보장하기 위한 많은 수동 및 자동 단계가 있습니다. 또한 Advanced 300 VT는 고속, 높은 정확도의 프로세스 주기를 자랑하여 처리량을 높입니다. 자동화된 프로파일 제어 (Profile Control) 와 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 를 필요에 따라 수정할 수 있기 때문에 프로세스 시간이 단축됩니다. 진공실 은 또한 효율적 인 최적 확산 을 위한 일정한 온도 를 제공 하며, "서셉터 척 '을 함유 하여" 스셉터 척' (susceptor chuck) 을 함유 한다. 또한 Advanced 300 VT (Advanced 300 VT) 는 안전 수준 1 및 수준 2 안전 기능 및 사용자가 정상 작동 중 열 방사선과 과도한 온도로부터 보호하기 위한 특수 설계를 위해 설계되었습니다. Advanced 300-VT (Advanced 300-VT) 는 사용자가 생산성과 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 정확하고 반복 가능한 프로세스 주기를 제공합니다. 다용도, 효율적 운영, 탁월한 확장성 때문에 연구/제조 분야에 적합한 완벽한 선택입니다.