판매용 중고 ASM Advance 300 VT #9206100
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ID: 9206100
빈티지: 1997
Vertical LPCVD furnace
Process: Oxide
CIM
Hardware configuration:
Main system:
Main body (Carrier stage)
Utility box
Handler system:
Wafer handing robot
Boat elevator
Cassette loader
Configuration:
Safety specification: ASM Standard
System layout type: U/Box type (I)
System hand: LL
N2 Load lock
Heater type: Temp wire
Torch heater
Process gasses:
Process gas 1 / N2 (30SLM)
Process gas 2 / O2 (20SLM)
Process gas 3 / HCL
Process gas 4 / N2O
Process gas 5 / H2O
Gas distribution system:
Basic style: Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Tubing finish: Electro-polished
Manual & air-operated valve: Nupro
MFC Unit
Wafer / Cassette handling:
SEMI STD-Notch, 8"
Cassette type: Entergris / 704-503T2
Cassette number of wafers: 25
Cassette storage: 16
Fork type / Material
Fork variable pitch
Boat / Pedestal: 2 Boat
(150) Production wafers
Boat rotation not installed
System control:
System controller: IBM 486 OS2
Torch controller: H2O Separate element Pre burner
Signal tower colors: G / A / B
General pressure display unit: Pressure PSI
Cabinet exhaust display unit: H20
ASM Furnace temp controller
Host communication
Host communication: User host computer
User host computer I/F: SECS I / II (RS232)
Information transfer protocol: GEM
Equipment host I/F connection: U/BOX Top
Group controller: HIA
Facility electrical equipment power input (2 Lines):
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Voltage: 120 VAC, 1 Phase
UPS Input / Output voltage: 120V / 100V
1997 vintage.
ASM Advance 300 VT는 최신 웨이퍼 제작 프로세스를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 최첨단 고온 어닐링 제어를 제공하며 복잡한 확산 프로세스에 대한 정확한 균일성을 제공합니다. Advance 300 VT는 균일성 향상을 위한 독특한 수직 기술 설계와 탁월한 프로세스 제어 및 온도 정확도를 위한 혁신적인 2 영역 제어 (two-zone control) 기능을 갖추고 있습니다. 콜드 월 (Cold Wall) 과 디스트리뷰터 플레이트 (Distributor Plate) 디자인의 조합을 사용한 고급 냉각 제어 시스템은 최고의 처리량과 장치 효율성을 보장합니다. 이 기계는 3 개의 thermocouple 슬리브와 최대 24 개의 thermocouple 포인트를 장착하여 전체 웨이퍼에서 우수한 온도 감지를 제공합니다. ASM Advance 300 VT의 수직 설계는 웨이퍼 전체의 온도 변화를 제거하여 중요한 프로세스에 대한 높은 정확성과 재현성을 보장합니다. 이 고정밀도 도구는 또한 탁월한 프로세스 기능을 제공하여, 정확한 온도 조절 및 엄격한 내성을 제공합니다. Advance 300 VT는 나노 물질 제작 (nanomaterial fabrication) 과 같은 고급 프로세스에 대해 기존 웨이퍼 제조에서 최대 매우 높은 온도의 프로세스 요구 사항을 지원할 수 있습니다. 또한, 자산은 다양한 쿼츠 보트 구성, 특히 채널 (channel) 및 기타 복잡한 기능을 갖춘 쿼츠 보트 (quartz boat) 구성을 수용할 수있는 유연성을 가지고 있습니다. 따라서 프로세스 유연성이 극대화되고 운영 운영을 최적화할 수 있습니다. ASM Advance 300 VT는 고급 열 분배 시스템 (Advanced Heat Distribution System) 과 열 제어 시스템 (Thermal Control System) 으로 인해 모든 웨이퍼 위치에서 뛰어난 온도 균일성을 유지할 수 있습니다. 또한, 저전력 소비, 로우 프로파일 (low-profile) 설계, 모든 구성 요소에 대한 간편한 액세스 등 기술 설계 및 제품 유연성 측면에서 상당한 엔지니어링 이점을 제공합니다. 또한 프로세스 최적화를 위한 저열 사이클 스위치 (low thermal cycle switch) 와 유연성 향상을 위한 중력 힌지 (hinge) 모델 등 다양한 옵션을 제공합니다. 전반적으로 Advance 300 VT는 최신 웨이퍼 제작 프로세스를위한 안정적이고 정확한 확산 로와 액세서리 장비입니다. 고급 온도 조절 시스템 (Temperature Control System), 뛰어난 균일성, 최적화된 생산 운영을 위한 유연한 설계 기능을 갖추고 있습니다.
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