판매용 중고 ASM A600 UHV #9249518
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ID: 9249518
빈티지: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo molecular pump
MITSUBISHI FT-3300 Turbo molecular pump controller
ASM
OMRON Sysmac
Digital dynamic servos and controllers
ANELVA and BALZERS Gauges
SAES PS4-MT15-N-2 Nitrogen purifier
1997 vintage.
ASM A600 UHV는 RTA (Rapid Thermal Annealing), 산화, 질화, 탄화 및 금속 화학 증기 증착 (MOCVD) 과 같은 열 처리 응용 분야에 사용되는 고진공 확산로 및 액세서리입니다. 이 장비는 가스 타이트 밀봉과 우수한 내화 물질을 사용하여 초고진공 (UHV) 수준을 달성하는 밀봉형 흑연 챔버를 갖추고 있습니다. 챔버에는 최대 작동 온도가 1800 ° C인 이동 가능한 쿼츠 창도 있습니다. 이 용광로 에는 또한 높은 수준 의 기압 을 생산 하는 강력 한 송풍기 가 포함 되어 있는데, 이것 은 무겁고 값비싼 "하드웨어 '를 사용 하지 않고도 고온 을 처리 할 수 있게 해 준다. 이 송풍기는 또한 공랭식 라미나 공기 흐름 시스템과 내장 온도 조절 장치를 갖추고 있습니다. A600 UHV에는 고온 응용 분야에 사용하기 위해 많은 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 진공 급식, 가스 급식, 벨로우, 폐수 포트, 온도 센서 및 프로브, 가스 라인 필터가 포함됩니다. 모든 부품 은 이 독특 한 기계 의 고온 과 진공 환경 을 견딜 수 있도록 설계 되었다. 그렇다. ASM A600 UHV는 온도, 압력 및 기타 변수의 정확한 제어를 허용하는 정교한 소프트웨어와 결합됩니다. 또한, 이 소프트웨어를 사용하면 광범위한 조건과 구성에 대한 프로세스를 모니터링, 기록, 분석할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 연구 및 분석을위한 직관적 인 그래픽을 제공합니다. A600 UHV 확산 광로 및 액세서리는 고온 호환성, 화학 관성 및 장수의 장점을 제공합니다. 또한 밀봉 된 챔버 (chamber) 설계로 인해 사용하기에 안전하며 에너지 효율이 높습니다. 이 도구는 신뢰성이 높고, 정확한 결과를 얻을 수 있으므로 다양한 연구 응용프로그램에 이상적입니다 (영문).
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