판매용 중고 ASM A600 UHV-CVD #9239207
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ID: 9239207
빈티지: 1997
CVD System
MITSUBISHI FT-3300W-W111 Turbo pump and controller
BROOKS 001-7500-05 Robot
BROOKS Controller and teaching pendant
1997 vintage.
ASM A600 UHV-CVD는 매우 균일 한 박막 (thin film of materials) 의 성장을 가능하게하는 액세서리가있는 확산 로입니다. 초고 진공 화학 증기 증착 (UHV-CVD) 에 사용되도록 특별히 설계되었습니다. 이 방은 종종 금속, 산화물, 질화물 및 기타 물질로 구성된 박막 (thin film) 의 증착에 사용됩니다. A600 UHV-CVD는 내부 챔버와 외부 진공 환경 사이에 안전한 밀봉을 제공하는 모든 금속, 플랜지 (flanged) 디자인을 갖추고 있습니다. 고온 가열 원소 가 갖추어져 있어 "증기 '상 으로부터 물질 을 승화, 증착 시킬 수 있다. 챔버에는 3 개의 난방 구역이 포함되어 있으며 온도는 40 ° C ~ 900 ° C입니다. 또한, 챔버에는 정확한 온도 조절 장비와 현장 모니터링 (in situ monitoring) 및 분석 (analysis) 에 액세스 할 수있는 포트가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 증착 과정 (deposition process) 을 직접 관찰하고 증착이 완료된 후 챔버를 빠르게 식힐 수있는 내장 냉각 장치 (inbilt cooling unit) 를 제공하는 뷰 포트를 제공합니다. 과압 (overpressure), 저압 (low pressure) 및 온도가 낮은 경보 (over temperature alarm) 와 같은 몇 가지 안전 기능도 있어 증착 과정에서 최적의 안전을 보장하도록 설정할 수 있습니다. 기계는 오염 수준을 최소화하도록 설계되었습니다. gas purq, static headliner, Teflon® 가스 트랩, 내부 펌핑 도구, 온도 조절 게터와 같은 깨끗한 환경을 보장하는 다양한 기능이 있습니다. 또한 "챔버 '에는 0.1 이하 크기 의 입자 를 검출 하여 청결 을 유지 하는 입자" 모니터' 가 들어 있다. 챔버에는 두 개의 샘플 홀더가 있습니다. 상단 홀더는 웨이퍼 및 슬라이드 용이며, 하단 홀더는 더 작은 크기 (chips, pieces 및 samples) 용입니다. 고급 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며, 빠른 열화와 샘플 배치를위한 훌륭한 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 자산은 다양한 재료의 박막 (thin film) 증착에 사용될 수 있으며, 따라서 뛰어난 균일성을 가진 샘플을 생산합니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 와 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 사용자는 증설 중에 매개변수를 쉽게 제어 및 조작할 수 있습니다. 이 모델은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics), 광학 (optics), 재료 과학 (material science) 과 같은 분야의 연구자들에게 중요한 도구입니다.
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