판매용 중고 ASM A600 UHV-CP #9249525

ASM A600 UHV-CP 확산 퍼니스는 대규모 복합 반도체 재료의 고효율 생산을 위해 설계되었습니다. 최대 6 인치 직경의 기판을 안전하고 안정적으로 처리하도록 설계되었습니다. 확산 로에는 600mm 길이의 공정 챔버가 있으며, 고급 압력 제어 장비가 장착되어 있습니다. 챔버의 UHV (Ultra High Vacuum) 운영 환경은 깨끗하고 오염 수준이 낮으며 물질의 빠른 질소 생성, 확산 및 도펀트 인코딩을 보장합니다. 동적 압력 제어 (Dynamic Pressure Control) 시스템은 정확한 온도 조절과 빠른 냉각 속도를 허용합니다. 이를 통해 웨이퍼 기판의 확산을 위한 정확한 상향/하향 조정시간 (up/down time) 을 허용하며, 품질 저하 없이 전체 프로세스 시간을 줄이고 유지합니다. 용광로에는 최대 25kW 출력이 가능한 가열 전원 공급 장치, 압축 재프리 머플 (ash-free muffle) 디자인이 포함되어 있습니다. 연소 장치 는 물질적 가공 을 위한 매우 깨끗 한 환경 을 제공 하고, 연기 와 기타 환경 오염 물질 을 제거 한다. 그렇다. 머플 (muffle) 설계를 통해 빠른 발열이 가능하므로 냉각 구역이 필요하지 않습니다. 또한, 퍼니스에는 포괄적인 프로세스 모니터링 및 안전 프로그램을 제공하는 고정밀 제어 머신 (high-precision control machine) 이 포함되어 있습니다. 이 도구에는 다양한 인터페이스 모드와 SCADA (Supervisory Control and Data Acquisition) 가 포함되어 있어 기존 제조 환경에 용광로를 쉽게 통합할 수 있습니다. 통합 안전 시스템은 운영자에게 포괄적인 안전 기능 (Safety Features) 을 제공하며, 이온화 보호 자산 (ionization Protection Asset) 은 프로세스 챔버에서 전기 호출 및/또는 스파크 오버 (spark-over) 의 위험을 제거하는 데 도움이됩니다. A600 UHV-CP 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 현대화된 설계 및 안전 기능을 통해 놀라운 효율성을 제공하며 기존 생산 라인과 프로세스에 쉽게 통합 할 수 있습니다.