판매용 중고 ASM A412 Doped Poly #9244651

ASM A412 Doped Poly는 도핑 된 폴리 실리콘 생산을 위해 특별히 설계된 고온 확산 로입니다. 최대 1475 ° C의 최고 공정 온도, ± 3 ° C의 고온 균일 성을 제공하여 공정 중에 최적의 트랩핑 (trapping) 및 온도 조절을 보장합니다. 고급 PID (비례 적분-파생) 제어 기술은 인터페이스 온도를 정확하게 모니터링하고 제어합니다. 강력한 열 관리는 최대 4.5 "직경의 와퍼를 빠르고 균일 한 가열하여 균질한 도펀트 스프레드 (dopant spread) 와 향상된 어닐링 품질을 제공합니다. "가스 '의 흐름 을 장비 전체 에 걸쳐 정확 히 제어 하는 능력 은" 가스' 가 "챔버 '에 최적 으로 분배 되어 안전 하고 효율적 인 과정 이 된다. A412 Doped Poly에는 수냉식, 동축 석영 튜브, Quartz Boat Loader, 프로세스 웨이퍼 로더, 스테인리스 스틸 Annealing Chamber 및 가스 감지 시스템을 포함한 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 가스 탐지 장치 (Gas Detection Unit) 는 애닐링 챔버 (Annealing Chamber) 의 가스 수준을 모니터링하여 유해한 부산물의 안전을 보장하는 통합 구성 요소이며, 웨이퍼 로더 (Wafer loader) 는 스테인리스 스틸 어닐링 챔버와 제어 환경 사이의 웨이퍼를 안전하게 전송합니다. 또한, 수냉식 쿼츠 튜브 (Quartz Tube) 는 기체의 입구 지점의 최적의 격리 및 냉각을 위해 설계되어 모든 열 전도성, 열 전달 향상, 따라서 전체 처리 시간을 보상합니다. 결론적으로, ASM A412 Doped Poly는 도핑 된 폴리 실리콘 생산을 위해 설계된 고급 확산 용광로이며, 최대 1475 ° C의 균일 한 가열을 제공합니다. 가스 탐지기, 웨이퍼 로더 (wafer loader), 쿼츠 보트 로더 (quartz boat loader), 수냉식 쿼츠 튜브 (water-cooled quartz tube) 와 같은 기능과 액세서리로 구성되어 안전하고 균일하며 빠른 공정을 위해 가스의 흐름이 효율적이고 정확합니다. A412 Doped Poly를 사용하면 동종 도펀트 스프레드로 높은 품질의 어닐링을 달성 할 수 있습니다.