판매용 중고 ASM A400 HT #9266026
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판매
ID: 9266026
빈티지: 1998
LPCVD System
Process: Oxide / Poly
Dual reactors / Dual boats
Boat rotation: Poly
(5) Temperature zones
1998 vintage.
ASM A400 HT (High Temperature) 는 광전자 제조, MEMS, 나노 기술 및 태양 광 발전과 같은 응용 분야에 사용되는 고급 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 유형의 퍼니스는 최대 1300 ° C의 고온 가열을위한 강력한 쿼츠 튜브 (quartz tube) 를 사용하며, 모든 샘플 배치에서 최대 온도 균질성을 위해 설계되었습니다. 또한 A400 HT에는 정밀하고 반복 가능한 온도 프로그래밍이 가능한 활성 온도 제어 시스템이 있습니다. 대기 제어 시스템에는 높은 순도 가스 흐름을 유지하는 낮은 아웃 가스 (outgas) 디자인이 포함되어 있으며, 고온 경련 및 소결성 또는 반응성 대기에 최적입니다. ASM A400 HT는 빠르고 안정적인 온도 측정을 위해 적외선 피로미터를 사용하며, 맞춤형 PC 워크스테이션을 통해 전체 자동화 기능 (옵션) 을 제공합니다. 또한 에너지 소비를 줄이는 특별히 설계된 벽 단열재 (wall insulation) 가 특징이며, 침입 방지 난방 요소는 효율적이고 균일하며 난방 전력 출력을 제공합니다. 이 디자인은 또한 가스 흐름 난류로 인한 입자 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. A400 HT의 고급 활성 온도 제어 시스템 (Active Temperature Control System) 은 최대 12 개의 세그먼트와 4 개의 다른 온도 상승 체계를 프로그래밍하는 기능을 포함하여 다양한 기능을 제공합니다. 이를 통해 복잡한 온도 프로파일의 정확하고 반복 가능한 온도 프로그래밍이 가능합니다. 또한, 빠른 분리 도어 래치는 샘플을 로드 또는 언로드할 때 편리성과 안전성을 제공합니다. 낮은 아웃 가스 (outgas) 설계는 또한 고온에서 최적의 가스 흐름을 보장하며, 다양한 대기에서 반복 가능하고 신뢰할 수있는 프로세스를 제공합니다. ASM A400 HT는 광전자, MEMS, 나노 기술 및 태양 광 세포와 같은 고온 및 균일 한 확산 프로세스에 의존하는 다양한 연구 개발 응용 프로그램에 이상적입니다. 모든 예제 배치 (batch) 에 걸쳐 최대 온도 균질성을 갖춘 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 제공하며, 정밀한 온도 프로그래밍 및 제어를 지원하는 광범위한 자동화 기능을 제공합니다.
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