판매용 중고 ASM A 600 #293595388

ID: 293595388
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
LPCVD Furnace, 8" Oxide 1995 vintage.
ASM A 600 (ASM A 600) 은 다양한 응용 프로그램에서 뛰어난 성능을 얻기 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 용광로의 작동 범위는 섭씨 600도이며 흑연, 배기 튜브 및 SS 316L 스테인리스 스틸 코일 (stainless steel coil) 로 구성된 확산 튜브가 장착되어 있습니다. "칠러 '는 반응" 챔버' 와 공정 "튜브 '에 대한 믿을 만한 냉각원 을 공급 해 주며, 그 공정 의 완전 한 온도 조절 을 가능 케 한다. 이 용광로에는 열 처리 (heating process) 에 정확한 매개변수를 제공할 수 있는 커스텀 컨트롤러 (custom controller) 가 장착되어 있습니다. 또한, 다수의 센서가있는 안전 연동 장비와 반응 챔버 (reaction chamber) 에서 균일 한 가열을위한 진공 밀봉 분리 챔버 (vacuum sealed isolation chamber) 가 있습니다. 확산 로에는 프로세스 튜브의 균일 한 냉각을 보장하기 위해 EDX 시스템을 사용하는 로터리 (rotary) 난방 장치도 포함됩니다. 이 장치는 정적 (static) 및 동적 (dynamic) 가열 모드에서 작동하여 프로세스의 최대 제어 및 유연성을 제공합니다. 또한 동적 클리닝 (dynamic cleaning) 메커니즘이 포함되어 있는데, 이 메커니즘은 프로세스 중에 생성되었을 수 있는 스플래터 (splatter) 또는 초과 (excess) 재료를 제거하는 데 사용됩니다. 확산 로 외 에도, 여러 가지 부속품 장비 를 이용 할 수 있다. 여기에는 가스 혼합 장치, 샘플 홀더, 유압 전원 패널, 진공 압력 게이지 및 용광로 작동에 필요한 기타 도구가 포함됩니다. 또한, 퍼니스에는 가장 높은 순도 최종 생성물을 보장하기 위해 반응 과정을 모니터링하는 데 사용할 수있는 VCR 및 광학 방출 분광계 (OES) 기계가 있습니다. 전반적으로 A 600 확산 광로 및 액세서리는 다양한 응용 프로그램에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 신뢰할 수 있고, 신뢰할 수 있는 구성 요소로, 안정적이고, 효율적인 프로세스를 필요로 하는 고객에게 이상적인 선택입니다. 뿐 만 아니라, 그 특징 과 "액세서리 '는 용광로 성능 을 최적화 하려는 사람 들 을 위한 완전 한 해결책 을 제공 한다.
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