판매용 중고 ASM A 600 #112365
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ID: 112365
웨이퍼 크기: 8 "
LPCVD Furnaces
UHV Vertical furnaces
Cluster tool controller
Touch screen monitor
Keyboard with trackball
User interface
Hardware system:
Cluster platform module
Cluster platform pump module
CTC Computer cabinet
Process module
Process module pump cabinet
Reactor:
Reaction tube
Method: Single tube
Material: High-purity quartz
Heater element:
Heater wire material: Cantor wire, Φ 8 mm
Normal operating temperature: 500°C to 700°C
Maximum temperature: 800°C
Equal heat length, 12"
Temperature control: 500°C to 700°C ± 0.50°C
Control circuit: Cascade
Thermocouple:
(4) Zones
Inside: K-Type
Outside: K-Type with ceramic protective tube
Cooling method: Water-cooling 2 l/min
Wafer boat:
Wafer size, Φ 8"
Wafer quantity: 52 Wafer charges
Material: High-purity quartz
Operating system: Windows NT.
ASM A 600 (ASM A 600) 은 기판에서 박막 증착을 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 다양한 두께와 모양의 필름을 증착 할 수있는 고온 용광로입니다. 용량은 600kW이며, 최대 작동 온도는 1,500 ° C입니다. 열 충격 및 고온 환경에 대한 뛰어난 내성을 제공합니다. 온도는 0-1,500 ° C의 범위로 조절 될 수 있습니다. 600 개는 견고하고 열 절연 된 강철 베이스, 상단 장착 및 이중 벽 챔버 구성, 에너지 절약 열 전송 시스템, 강력한 솔리드 스테이트 전자 컨트롤러 (solid-state electronic controller) 로 구성됩니다. 통합 제어 시스템은 간단한 2 버튼 시작/중지 키패드, 매끄럽고 쉬운 작업을위한 사전 프로그래밍 된 매개 변수, 과온 안전 제한, 온도 경사/비누 기능 등 사용자에게 친숙한 기능을 제공합니다. ASM A 600은 또한 여러 기판 홀더, 단일/다중 기판 드라이브, 자동 급지기, 냉각 기술 등 다양한 액세서리를 제공합니다. 광범위한 기판 홀더 (기판 홀더) 와 기판 (기판) 을 사용하면 다양한 온도 설정에서 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한, 통합 자동 급지대를 사용하면 기판의 안전하고 효율적인 로드 및 언로드가 가능합니다. 이 용광로에는 기체 (gas) 및 액체 냉각 (liquid cooling) 과 같은 쿨 다운 (cool-down) 기술이 장착되어 기판을 처리하기 위해 높은 처리 온도에서 낮은 온도 전도성으로 빠르게 전환됩니다. 600 확산 용광로 (diffusion fornace) 에는 비상 사태 발생 시 즉시 모든 작업이 중지되고 용광로를 안전한 온도로 가져오는 특수 고속 차단 시스템 (fast-down systems) 도 포함되어 있습니다. 이 용광로 (furnace) 는 또한 손쉬운 유지 관리 및 서비스를 제공하며, 박막 증착을 위해 최고 수준의 정확도, 안정성, 신뢰성을 보장하도록 설계된 기능이 내장되어 있습니다. 전반적으로 ASM A 600 (ASM A 600) 은 효율적이고 정확한 박막 증착을 지원하는 다양한 액세서리를 갖춘 강력하고 안정적인 확산 로입니다. 반복 가능한 고품질 박막이 필요한 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.
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