판매용 중고 ASM A 600 UHV #9232052

ASM A 600 UHV는 초고 진공 (UHV) 샘플의 준비에 사용되는 확산 로입니다. 이 장비는 진공실, 진공 펌핑 시스템, 용광로 챔버, 높이 조절 히터, 필요한 모든 컨트롤, 전원 공급 장치 및 액세서리로 구성됩니다. 진공실은 5x10-6 토르 (5x10-6 Torr) 의 기본 압력을 제공하도록 설계되었으며, 더 낮은 기본 압력은 챔버에서 구워 낼 수 있습니다. 챔버는 히터와 샘플에 액세스 할 수있는 2 개의 슬릿으로 원통형입니다. 2 개의 내부 단계는 펌핑 단계를 수용하며, 외부 단계는 히터 (heater) 와 샘플 (sample) 입니다. 내부 단계는 회전 통풍선 (rotating vent valve) 으로 회전하여 샘플에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 양방향 90도 회전할 수 있는 수동 레버 (manual lever) 를 챔버 (chamber) 에 장착하여 밸브를 열고 닫습니다. 고급 진공 바늘 밸브는 고급 밸브 제어 및 정확도에 사용됩니다. 진공 펌핑 장치에는 차가운 트랩, 회전 펌프, 확산 펌프 및 기계식, 오일, 극저온 및 터보 분자 펌프의 조합이 포함됩니다. 차가운 함정 (cold trap) 은 대피 된 공정 "가스 '의 부분 압력 을 줄이는 데 사용 되는데, 이것 은 내부" 챔버' 에 위치 한 회전 및 확산 "펌프 '에 의해 더욱 감소 된다. 기계 "펌프 '는" 펌프' 속도 와 기름 "펌프 ', 주어진" 가스' 부피 변위 비율 에 대한 최후 의 압력 을 제공 한다. 극저온 및 터보 펌프는 깊은 ultahigh 진공을 위해 챔버에 연결됩니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 에는 조절 가능한 높이 히터가 장착되어 있으며, 확산 공정을 위해 최대 1000 C의 샘플을 가열하고, 내부 측정을 위해 사용됩니다. 조절 가능한 높이 히터는 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 통해 설정 및 제어되며, 외부 연결 및 센서도 제어합니다. 컨트롤러에는 두 개 이상의 전기 장치를 동시에 처리하는 내부 멀티플렉서가 포함되어 있습니다. 난방기 는 견고 하고 효율적 이며, 확장 가능 한 방법 으로 고온 과 저온 을 모두 제공 한다. 전체 도구는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며, 내부 직경은 600mm, 높이는 1500mm입니다. 챔버에는 시청 창과 샘플의 진공 통풍구가 포함됩니다. 전체 자산에는 기본 (base) 및 클램프 (clamp) 배열이 제공되며, 용광로의 안전하고 손쉬운 처리가 가능합니다. 600 UHV 확산 로는 고진공 샘플을 준비하고 다양한 확산 프로세스를 수행하는 다용도 솔루션입니다. 조절 가능한 높이 히터 (height heater) 는 샘플 가열을 정확하게 제어하여 실험자가 원하는 결과를 얻을 수있는 반면, 고품질 (high-quality) 구성과 견고한 설계는 장기적인 신뢰성을 보장합니다.