판매용 중고 ASM A 412 #9354370
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ID: 9354370
웨이퍼 크기: 12"
Furnace, 12"
Type: G-OX and poly
Bottom reactor
Top WIP
Bottom WIP
Top reactor
WIP Spindle
Panel cover
Power box
Heating element R1
Heating element R2
Blower R1
Blower R2
PP Box
Door plate
Top carousel
Bottom carousel
UPS.
ASM A 412는 금속 코팅, 반도체 및 기타 관련 프로세스에 주로 사용되는 확산 로입니다. ASM A412는 일반적으로 1050 ° C ~ 1250 ° C 범위에서 작동하도록 설계되었으며 ± 3 ° C 범위에서 특별한 균일성을 얻을 수 있습니다. 이 장비는 또한 온도 상승 (temperature ram up) 및 예열 (preheat) 기능을 지원하여 간격 및 간격이 없는 인터페이스 계층 모두에서 안정적이고, 균일하며, 안정적인 성장을 보장합니다. 412에는 최대 5 개의 독립적으로 제어되는 포트를 갖춘 8 포트 확산 챔버가 장착되어 있습니다. 이를 통해 센서 및 기타 지원 기기에 대한 전체 액세스 권한이 들어가고, 온도를 측정하고, 성장을 위한 최적의 조건을 만들 수 있습니다. 전원 공급 장치는 최대 40 KW (최대 40 KW) 까지 가능하여 단시간 내에 최대 온도에 도달할 수 있습니다. 또한 A412 에는 다양한 구성 요소를 제어함으로써 프로세스 전체의 온도를 안정화 할 수있는 다중 영역 (multiple-zone) 보상 시스템이 있습니다. ASM A 412는 또한 용광로의 장수와 내구성을 보장하기 위해 통합 냉각 장치를 갖추고 있습니다. 이 냉각기 는 온도 가 떨어지는 것 을 줄이고, 내부 부품 을 보호 해 주며, 그 결과 로 의 수명 을 연장 시킨다. 다른 기능 으로는, 그 과정 중 에 지나치게 뜨거워질 수 있는 구성 요소 들 을 열적 으로 보호 할 수 있도록 하는, 더 우월 한 온도 보호 도구 (superent temperature protection tool) 가 있다. 또한 ASM A412 는 확산 프로세스를 최적화하기 위해 설계된 다양한 액세서리와 기능을 제공합니다. 여기에는 자동 조정 복사 케이지, 고급 모션 모듈, 가스 매니 폴드 시스템, 단일 터치 스크린 인터페이스가있는 컨트롤 보드 (Control Board) 가 포함됩니다. 안전을 위해 A 412는 열전대 (thermocouple) 를 특징으로하여 과열 부품을 감지하고 확산 챔버 냉각을위한 고압 송풍기를 제공합니다. 전반적으로, A412는 균일 한 기판 온도를 달성 할 수있는 안정적이고 견고한 확산 로입니다. 금속 코팅, 반도체 처리 및 기타 관련 작업을 위해 완벽한 선택입니다. 이 퍼니스는 고급 기능, 확장 온도 보호 (extended temperature protection) 및 안전 (safety) 옵션을 제공하여 다양한 어플리케이션에 적합합니다.
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