판매용 중고 ASM A 412 #9211212
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ASM A 412는 최첨단 확산 로와 액세서리 (accessorie) 로, 다양한 재료를 어닐링하고 확산시키는 업계 최고의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 다용도 기계는 600 ° C ~ 1200 ° C 사이의 작동이 가능하며, 가장 까다로운 응용 프로그램에서도 뛰어난 온도 균일성과 재현성을 제공합니다. 대형 챔버 (oversized chamber) 는 대형 기판을 다루는 데 이상적이며, 고급 자동화는 빠른 온도 사이클링 (cycling) 과 정확한 제어를 가능하게합니다. 견고한 디자인에는 내구성 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless-Steel Chamber), 절연 도자기 및 깨끗하고 안전한 환경을 보장하는 컴퓨터 제어 펌핑이 포함됩니다. 어닐링의 경우, ASM A412에는 최대 온도 1200 ° C에 도달 할 수있는 조절 가능한 가열 전력 출력이 포함되어 있습니다. 고급 J 형 열전대는 정확한 온도 판독을 보장하며, 큰 팬 냉각 히터는 긴 어닐링 사이클 (annealing cycle) 동안 더 빠른 온도 균일성과 안정성을 제공합니다. 또한, 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 와 독특한 전로 설계를 통해 광범위한 압력과 조성에 대한 정확한 대기 제어가 가능합니다. 이를 통해 어닐링 프로세스의 유연성과 균일성이 뛰어납니다. 확산을 위해, A 412는 캐리어 가스와 반응성 화학 물질의 조절 가능한 혼합물을 포함하며, 이는 정확한 도핑 또는 완벽한 표면 수동화를 가능하게한다. 이 프로세스는 가스 흐름 (gas flow), 압력 (pressure), 온도 (temperature) 매개변수를 최적화하여 고객의 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한, 기계는 피로미터 (pyrometer) 및 고급 이중 PID 자동 조정 컨트롤러를 포함하여 확산 프로세스를 측정하고 완성하여 정확도를 높입니다. A412는 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 처리를 위해 설계되었으므로 부품은 섬세한 기판을 신중하게 처리 할 수 있습니다. 전면 문은 최대 180o (180o) 까지 열리며 안전한 자세에서 웨이퍼를 로드 및 언로드할 수 있습니다. 더욱이, 기계 는 일정한 간격 으로 대기 에 자동 통풍 을 하여 청결 함 을 유지 하며, 수동 텍스처링 (texturising) 은 깨끗 하고 점박이 없는 표면 을 보장 한다. 전반적으로 ASM A 412 의 성능과 기능은 하이엔드 어닐링 (annealing) 및 확산 (diffusing) 애플리케이션을 위한 업계 최고의 도구입니다. 대형 챔버 (oversized chamber), 조절 가능한 난방력, 고급 자동화 및 정확한 대기 제어 기능을 통해 가장 까다로운 어플리케이션에도 전례없는 정확성과 반복성을 제공합니다.
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