판매용 중고 ASM A 412 #9205124
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판매
ID: 9205124
웨이퍼 크기: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: NITR
General specification:
Heater element: MRL
Process condition: NIT
Maximum operating temperature: 900c
N2 Load lock
Production wafers: (100) Pieces per boat
Boat operation:
Dual boat
Dual chamber
Furnace:
Loading area light: White
Force air cooling system: Fast ramp
Side maintenance
O2 Density control: 0-100ppm
Furnace temperature controller: MTC
Wafer / Carrier handling:
Carrier type: 12" FOUP
Carrier stage capacity: 12" FOUP
Robot type: GENMARK
Gas distribution:
IGS Maker / Type: FUJIKIN
IGS MFC Maker / Type: HORIBA
IGS Press transducer maker / Type: MYKROLIS
Exhaust specification:
Vacuum gage:
10 torr: MKS
1000 torr: MKS
Main valve: MKS
Pump maker / Model: EDWARDS 1800HTX
Low vacuum valve: MKS
Trap: ASM
Vacuum pressure controller: MKS
Reactor:
Outer / Inner tube material (LP): Quartz
Inner tube yype (LP): Quartz
Inner T/C: TYPE-R LPC /Topco
Boat materail/Type: SiC
Boat rotation
Pedestal material / Type: Quartz
Auto shutter
User interface:
Operation panel: Screen
Indicator type: Touch panel
Operation system: Windows
Dry pumps not included
Power:
Voltage 3Phase: 480VAC
Voltage single-phase: 3
Frequency: 60Hz.
ASM A 412 (ASM A 412) 는 반도체 웨이퍼 생산에 일반적으로 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 용광로는 질소, 산소, 수소를 포함한 많은 가스 공급원과 연결된 고출력, 가스 타이트, 온도 조절 챔버로 구성됩니다. 챔버에는 흑연 라이너 (graphite liner) 와 난방 요소 (in-chamber temperature controller) 에 의해 제어되는 광범위한 온도를 갖는 난방 요소가 장착되어 있습니다. 이 방에는 압력 방출 밸브 (pressure release valve) 와 경보 (alarm) 와 같은 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 그 다음 "가스 '원 은" 가스' 의 흐름 을 조절 하고 제어 하는 "솔레노이드 '" 가스' 매니 폴드 '를 통하여 용광로 에 연결 되어 필요 한 양 으로 정확 히 용광로 에 들어갈 수 있게 된다. 그 다음, "가스 '는 여러 가지 가열 원소 를 통과 하여 가열 시킨 다음, 주 용광로" 챔버' 로 들어간다. "가스 '가" 가스' 안 에 들어가면, 가공 과정 의 종류 와 처리 되고 있는 "웨이퍼 '에 따라 특정 한 온도 로 가열 된다. 그 다음 가열 된 "가스 '는 흑연" 라이너' 를 통과 하여 "웨이퍼 '위 로 확산 하여, 필요 한 경우 에 박막" 코우팅' 이나 다른 층 을 증착 시킨다. 로드 잠금 (load lock), 온도 컨트롤러 및 기타 다양한 유형의 액세서리를 포함하여 ASM A412에도 많은 액세서리를 사용할 수 있습니다. 로드 잠금 (Load Lock) 은 로드 및 언로드 도중 완전하게 제어되는 환경에서 웨이퍼를 유지하는 데 도움이 되고, 온도 제어기 (Temperature Controller) 는 가스의 온도를 정확하게 제어하여 더 나은 결과를 제공합니다. 또한 쿼츠 히터, 컴퓨터 제어 시스템, 웨이퍼 처리 장비 등 다양한 액세서리가 있습니다. 전반적으로, A 412는 반도체 업계에서 다양한 프로세스와 제품을 만드는 데 널리 사용되는 고급 확산 로와 액세서리 (advanced diffusion fornace and accessory) 입니다. 이 용광로 에는 다양한 "안전 '과" 컨트롤' 기능, 그리고 공정 을 정확 히 제어 하기 위한 여러 가지 "액세서리 '가 갖추어져 있으며, 매우 신뢰 할 만한 결과 를 낼 수 있다.
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