판매용 중고 ASM A 412 #9002453

ASM A 412
ID: 9002453
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Dual LPCD poly, 12" 2003 vintage.
ASM A 412는 연구 및 생산 실험실에 사용되는 고급 확산로 및 액세서리 장비입니다. 시스템은 확산 광로, 전원 공급 장치 및 컨트롤 박스로 구성됩니다. 확산 용광로는 가스와 금속 반응물의 원자로 인 흑연 감지기 (graphite susceptor) 와 흑연 관 (graphite tube) 으로 유도 가열을 사용합니다. 전원 공급 장치는 고출력, 500Hz, 가변 주파수 전원 컨버터로서, 최적의 재료 처리를 위한 정밀한 전원 제어를 제공합니다. 제어 상자는 온도, 압력 및 반응물 수준을 모니터링하는 데 사용됩니다. 확산 용광로의 최대 작동 온도는 1200 ° C이며, 다양한 크기와 모양의 재료를 수용합니다. 흑연 튜브 및 서셉터를 통해 가스 및 고체 반응물을 모두 수용 할 수 있습니다. 이 장치에는 내화 재킷 (refractory jacket) 이 장착되어 열 손실을 줄이고 처리를 가속화합니다. 또한, 퍼니스는 샘플 기질의 산화와 도구 전체에서 더 균일 한 가열을 방지하기 위해 냉각제 재순환기 (coolant recirculation machine) 를 통합합니다. 전원 공급 장치에는 컴퓨터 인터페이스에 의해 제어되는 분리 스위칭 회로 (isolated switching circuit) 가 장착되어 있어 정확도를 극대화합니다. 제어 상자는 확산 과정에서 온도, 압력, 반응물 수준을 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. 또한 온도 제한 장치, 압력 완화 (pressure relief) 및 전원 장애 경보 (power failure alarm) 와 같은 안전 기능도 제공합니다. 또한 이 상자에는 PC 또는 다른 중앙 제어 모델에 자산을 상호 작용시키기 위한 디지털 I/O 포트가 있습니다. ASM A412는 정확한 제어 및 정확한 결과를 통해 안정적인 확산 프로세스를 제공합니다. 실험실 또는 생산 시나리오의 R&D 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 장비는 내화 금속, 반도체, 도자기 및 고급 재료의 고온 처리에 적합합니다. 또한, 사용이 간편한 제어 인터페이스는 빠른 설치 및 작동을 위해 설계되었습니다. 412는 고성능 재료 생산에 유용한 도구입니다.
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