판매용 중고 ASM A 412 #293738367

ASM A 412 확산 로는 반도체 및 재료 처리 응용 프로그램 (예: 열 산화 및 질화) 을 위해 설계되었습니다. 이 신뢰성이 높고 효율적인 퍼니스는 빠르고, 반복 가능하며, 정확한 산화 및 질화 과정을 위해 디지털 흐름 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 용광로의 크기는 높이 4.3 "(110mm), 너비 19.3" (490mm) 및 깊이 16 "(406mm) 입니다. ASM A412 (ASM A412) 는 전체 내열성 페리틱 스테인레스 스틸 벽을 갖춘 이중 벽 알루미나 절연체로 구성되어 최소 에너지 손실로 최적의 열 균형을 가능하게합니다. 고온과 정확한 제어는 광범위한 확산 및 에치 (etch) 프로세스에 이상적입니다. 주 챔버는 최대 1280 ° C (2336 ° F) 의 온도에서 작동하여 다양한 재료의 확산을 가능하게합니다. 또한, 웨이퍼의 손쉬운 로딩 및 언로딩은 다이 스테이지 (die-stage) 로봇 공학을 사용하여 반도체 제품과 부품을 제조하는 과정을 훨씬 빠르고 효율적으로 만듭니다. A 412 확산 로의 디자인은 또한 드로 아웃 (draw-out) 유형의 구조를 특징으로하며, 내부는 액체 냉각과 함께 산화 내성 석영 인클로저로 둘러싸여 있습니다. 이를 통해 용광로의 효율적이고 반복 가능한 작동이 가능합니다. 용광로의 석영 캡슐은 최대 온도 균일성을 보장하고 오염 및 산화 수준을 단단히 제어합니다. A412에는 또한 가스 매니 폴드, 극저온 테일 가스 분석기, 예열 제어 시스템 및 핀 터치 온도 코플을 포함한 많은 액세서리가 제공됩니다. "가스 '매니 폴드 는 용광로 에 여러 가지" 가스' 를 공급 하는 편리 한 방법 을 제공 한다. 극저온 꼬리 가스 분석기 (cryogenic tail gas analyzer) 는 용광로를 나가는 배기 가스를 측정하고 분석 할 수 있습니다. 이는 생산된 제품의 품질을 보장하는 데 중요합니다. 예열 제어 시스템 (preheat control system) 은 높은 공정 반복성과 균일성을 얻기 위해 용광로의 온도를 조정할 수 있습니다. 마지막으로, 핀터치 열전대 (pin-touch thermocouple) 는 모든 시점에서 용광로 환경의 온도를 측정합니다. 요약하자면, ASM A 412 확산 로는 신뢰성이 높고 효율적이며, 여러 개의 액세서리와 함께 제공되므로 반도체 부품 및 재료의 최상위 제조가 보장됩니다. 내열성 및 온도 균일성이 우수하며, 사용자가 정확하고 반복 가능한 산화 (oxidation) 및 질화 (nitridation) 과정을 제공합니다. 업계 수준의 재료 처리에 적극 권장됩니다.