판매용 중고 ASM A 412 #293652798

ASM A 412 (ASM A 412) 는 강력하고 신뢰할 수 있는 확산 로이며 다양한 생산 요구를 충족하도록 설계된 액세서리입니다. 이 확산 퍼니스는 최대 3 개의 장치와 웨이퍼 (wafer) 까지 단일 또는 다중 레이어 어플리케이션에 적합하며, 최적의 균일성과 프로세스 성능을 위한 램프 업 (Ram Up) 및 균질화 기능을 제공합니다. 이 장비에는 최대 4 개의 독립적 인 난방 구역 (heating zone) 과 강력한 대류 팬 제어 (convection fan control) 가 장착되어 빠른 온도 상승 시간을 보장합니다. 또한 "가스 '를 정밀 히 제어 하고 확산 과정 의 균일성 을 유지 하기 위해 정밀 한" 가스' 흐름 을 공급 하도록 설계 된 통합 "가스 '분배 장치 를 갖추고 있다. 과온 보호 및 나이프 엣지 가열 공기 장치 (knife edge-heated air unit) 와 같은 통합 된 안전 기능을 갖춘 이 확산 로는 증착 속도 변화, 최소 기판 변형, 최적의 프로세스 균일성을 갖춘 고급 확산 증착 프로세스를 제공합니다. 이 기계에는 열 초점 제어 (thermocouple control) 와 압력, 진공, 열 주기, 시간 기반 매개변수 등의 프로세스 매개변수 배열이 포함되어 있어 높은 수준의 프로세스 반복성 및 제어가 가능합니다. 이 툴은 또한 사용자 친화적인 고급 프로세스 컨트롤러 (Advanced Process Controller) 를 제공하며, 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 손쉽게 프로그래밍 가능한 명령을 통해 운영 편이성을 극대화합니다. 이러한 기능을 통해, ASM A412는 산화물 (oxide) 에서 구리 (copper) 까지 필름 및 레이어를 코팅하는 데 적합한 고품질 확산 프로세스이며, 기타 다양한 정밀 코팅 응용 프로그램입니다.