판매용 중고 ASM A 412 Doped Poly #9359390

ASM A 412 도핑 폴리 (Doped Poly) 는 반도체 장치 제작에서 도프 전 에피 택시를 제공하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 200 ~ 1500 ° C의 온도에서 조절 가능한 2 개의 6 인치 쿼츠 튜브 오븐이 장착되어 있습니다. 퍼니스는 또한 독립적 인 온도 조절, 1 단계 온도 램프, 조절 가능한 반응 압력, 붕소 도핑 된 폴리 실리콘 히터, 기계 및 전자 셔터 어셈블리, 전원 공급 장비를 갖추고 있습니다. A 412는 특히 기술 기능에서 다재다능하며, GFSI, BPSG, 비소, 인, 붕소, 인 및 안티몬과 같은 휘발성 도펀트의 빠른 투여를 위해 설계되었습니다. 더 빠른 열 반응을 위해 가스 소스 냉각에; 단방향 CVD 및 질화물 필름 증착에. 붕소 도핑 된 폴리 실리콘 히터는 최대 효율성, 균일 한 열 전달 및 빠른 열 사이클링을 보장합니다. 단일 단계 온도 램프 시스템 (single stage temperature ramp system) 을 사용함으로써, 반응 압력을 조정하여 증기화를 향상 또는 제한하고, 결과적으로 휘발성 도펀트 탈출의 양을 제한시킬 수있다. 기계 및 전자 셔터 어셈블리 (mechanical and electronic shutter assembly) 는 후유증을 완전히 폐쇄하여 외국 재료가 상류 반응 챔버에 들어가는 것을 방지합니다. 또한 A 412의 전원 공급 장치는 0 ~ 100% 의 전력을 제공하며 0% 가 꺼져 있고 100% 가 '고출력' 으로 간주됩니다. 이 설계를 통해 범용 상수 (Universal Constant) 로 전원을 쉽게 조정할 수 있으며, 고온 (High Temper) 및 특정 전력 출력이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 요컨대, 412 도핑 폴리 (Doped Poly) 는 휘발성 도펀트의 빠른 도핑을 촉진하기 위해 설계된 풍부한 기능을 자랑하는 에피 택시 확산 로입니다. 조절 가능한 온도 범위, 단단 온도 경사, 조절 가능한 반응 압력, 붕소 도핑 된 폴리 실리콘 히터, 전원 공급 장치, 기계 및 전자 셔터 어셈블리는 반도체 장치의 제작에서 사전 도핑을위한 완벽한 솔루션입니다.