판매용 중고 ASM A 400 #9015529

ASM A 400은 ASM International에서 생산 한 확산 용광로 및 관련 액세서리입니다. 이 용광로 (furnace) 는 열 처리 과정에서 높은 수준의 온도 조절을 제공하며, 프로세스 응용 프로그램 측면에서 최대의 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. HACVD (Heat-Assisted and Hydrogen-Assisted chemical vapor deposition), 열 산화, LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition), HTASA (High TEmperular Shutter annealing), HTA ealing. ASM A400은 주 주택, 다기능 전원 모듈 및 수직 챔버 구성 요소로 구성됩니다. 챔버 성분에는 원자력 현미경 (AFM) 및 석영 결정 측정 (QCM) 을위한 8 개의 열이 포함되어 있습니다. 주 장치는 단일 분리 가능 상판과 수직으로 고정되는 절연 단일 조각 모듈입니다. 여기에는 단면 디지털 컨트롤러와 가스 제어 및 냉각을 위해 쉽게 조절 가능한 2 개의 스위칭 루프가 포함됩니다. 전원 모듈에는 디지털 전류 (전압 시간 컨트롤러) 와 2 개의 냉각 시스템, 강제 공기 장비 및 수냉식 시스템이 있습니다. 수직 챔버에는 RF (Optional RF) 일치 네트워크 및 가열 케이블 또는 막 래칭 장치가 포함됩니다. A-400 은 또한 일련의 안전 메커니즘 (예: 용광로 내에서 안전한 압력 수준을 유지하는 압력 완화 기계 (Pressure Relief Machine), 고도 설정이 초과되면 재해를 방지하는 종료 및 긴급 종료 시스템) 을 갖추고 있습니다. 용광로에는 기둥을 통해 공기를 순환시키고 주기적으로 흐름을 역전시켜 핫스팟 형성을 방지하는 2 단계 냉각 도구 (2 단계 냉각 도구) 가 장착되어 있습니다. 이것은 용광로 전체의 온도의 균일 한 분포를 보장합니다. ASM A-400에는 프로세스 또는 사용자 사용자 정의에 사용할 수있는 다양한 액세서리도 있습니다. 이러한 액세서리에는 환형 셔터 컨트롤러, HTASA의 구경 크기 제어, 셔터 속도, 온도 및 점화 제어; 온도 모니터링을위한 가열 요소 열전대 및 용광로 챔버 열전대; 진공 조절을위한 진공 급식. 결론적으로, A400은 강력하고, 다양하며, 신뢰할 수있는 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 제품은 정확하고 꾸준한 성능을 제공할 수 있으며 반도체 (반도체) 업계의 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 사용자 안전을 극대화할 수 있는 다양한 안전 장치 (Safety Mechanism) 가 장착되어 있으며, 사용 가능한 액세서리를 사용하여 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다.