판매용 중고 ASM A 400-C #9356784

ID: 9356784
웨이퍼 크기: 8"
LPCVD System, 8" (1) Сhamber Nitride Reactor (30) Lot Carousels (125) Cassettes Temp controlled flanges Water cooled particle trap Wafer counter mounted on wafer handling robot Chemical filters for WIP and WHR section Low stress nitride tool Boat rotation Gases: SiH2Cl2, NF3, NH3.
ASM A 400-C (ASM A 400-C) 는 효율적이고 안정적인 열 처리를 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 "시스템 '은 금속, 합금 및 그 밖 의 물질 을 2000 ° C 의 온도 까지 신속 하고 정확 하게 가열 할 수 있다. 퍼니스에는 전자 피드백 루프 (electronic feedback loop) 가 장착되어 있어 열 주기 전반에 걸쳐 최적의 프로세스 조건을 제어하고 유지할 수 있습니다. 또한 400-C 는 사용자 친화적이며 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 를 통해 모든 기능과 기능을 간단히 탐색할 수 있습니다. ASM A 400-C (ASM A 400-C) 는 다양한 재료에 맞게 다양한 온도 범위를 제공하도록 설계되었습니다. 온도 범위는 100 ~ 2000 ° C이며, 작동 볼륨의 범위는 155 ~ 1760 입방 센티미터이며, 더 큰 작업 조각과 개선 된 온도 조절이 가능합니다. 400-C는 또한 용광로 전체에 균일 한 열 분배를위한 전기 팬을 갖추고 있습니다. 이 설계는 로컬 열 구배를 방지하여 보다 일관되고 안정적인 열 처리 (thermal process) 를 제공합니다. 또한, 강제 공기 냉각 모드는 오버 슈트 (overshoot) 를 최소화하여 원하는 열 주기가 정확하고 효율적으로 완료되도록 도와줍니다. 이 장치는 또한 정확하고 반복 가능한 열주기를 위해 프로그래밍 될 수있는 고정밀, 디지털 온도 조절기 (digital thermostat) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 온도 모니터링과 제어, 장기 열 주기 반복 (thermal cycle reposit) 을 쉽게 수행할 수 있습니다. 이 용광로에는 온도 경보 (temperature alarm) 및 배기 팬 머신 (exhaust fan machine) 이 장착되어 있어 안전하고 사용자에게 친숙한 운영 환경을 보장합니다. 정확한 작업 재료와 수명 주기 증가를 위해 ASM A 400-C (ASM A 400-C) 는 특수 안전 기능으로 설계되었습니다. 예를 들어, 상부 가열 요소 및 세라믹 가열 요소는 온도 컨트롤러 (temperature controller) 와 2 차 과온 감지 모듈 (over-temperature detection module) 에 의해 보호됩니다. 또한 공기 간격 환기 도구 (air-gap ventilation tool) 는 열 축적을 방지하고 청소와 유지 보수가 용이합니다. 400-C 확산 자산에는 운영 및 유지 보수를위한 다양한 설치 및 운영 액세서리도 포함됩니다. 예 를 들면, "세라믹 ', 진공 및 연료 적재" 액세서리' 의 완전 한 집합 을 갖추고 있어서 열 과정 이 안정적 이고 안전 하게 진행 된다. 종합적인 안전 모델에는 비상 잠금 장치, 자동 차단, 과온 제어 시스템 및 안전 지표도 포함됩니다. 전반적으로, ASM A 400-C는 효율적이고 일관된 열 처리를 제공하는 고급적이고 안정적인 확산 로와 액세서리 장비입니다. 고정밀 디지털 온도 조절 장치 (HPD), 넓은 온도 범위, 다양한 안전 및 작동 기능을 갖춘 이 시스템은 다양한 재료를 쉽고 정확하게 처리하기에 적합합니다.
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