판매용 중고 ASM 250 #9237803

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ID: 9237803
웨이퍼 크기: 4"-8"
Horizontal furnace, 4"-8" (4) Tubes EG Process: (3) Tubes up to 800°C Annealing: Tube up to 1-100°C.
ASM 250은 고급 확산 용광로 및 관련 액세서리입니다. 그것 은 태양 전지, 배터리, 초전도체 와 같은 응용 을 위한 재료 를 효율적 이고 안전 하게 확산 할 수 있게 해 준다. 최대 2 인치 크기의 기판을 처리하고 21 ° C ~ 1050 ° C의 가스 확산 온도를 제어 할 수 있습니다. 산업용, 학술용, 연구용 "센터 '용도에 적합한 강력한 장비다. 250은 두 가지 구성 요소 (제어 장치 및 전원 드라이브 장치) 로 구성됩니다. 제어 장치는 확산 온도, 가스 흐름 속도, 공급 라인 압력 및 기타 프로세스 설정을 제어합니다. 또한 프로그래밍 가능한 가스 혼합물 흐름, 온도 조절, 기타 중요한 매개변수에 대한 편리한 제어 기능을 갖춘 사용자 친화적 인 LCD 인터페이스가 있습니다. 전원 드라이브 장치 (Power Drive Unit) 는 확산 광로 안에 원하는 환경을 만드는 데 필요한 가열 및 냉각 전원을 제공합니다. 이 제품은 두 가지 버전 (고온 등급 시스템 및 저온 등급 단위) 으로 제공됩니다. 고온 정격 머신은 최대 150 VDC의 공급 전류로 최대 1,550 ° C를 제공 할 수있는 반면, 저온 정격 도구는 최대 100 VDC의 공급 전류로 최대 850 ° C를 제공 할 수 있습니다. ASM 250에는 샘플 급속 냉각을위한 퀸치 에셋 (quench asset), 안전 추가를위한 난연제 모델 (flame retardant model), 확산 과정에서 샘플 주변의 가스를 유지하는 기판 홀더 (substrate holder) 와 같은 여러 옵션 액세서리도 포함되어 있습니다. 또한 다중 채널 가스 믹싱 모듈, 외부 가스 샘플링 포트 및 카세트 기반 샘플 소개 시스템 (250) 도 사용할 수 있습니다. 마지막으로 ASM 250 은 After-Sales 지원, 교육, 소프트웨어 툴 등 다양한 추가 서비스를 제공합니다. 따라서 사용자는 작업을 최적화하고 단위를 유지 관리하여 장기간 안정적으로 운영할 수 있습니다 (영문).
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