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ADVANCED ENERGY Apex #293622549
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ADVANCED ENERGY

Apex

RF Generator P/N: A3H0C200BA120G001A Power supply: 13.56 MHz, 10 kW.
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ADVANCED ENERGY Apex #9000121
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Bias generator Part no. 660-032596-014 1.5 kW, 13.56 Mhz.
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ADVANCED ENERGY Apex #180333
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62
ADVANCED ENERGY Apex #9309405
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Apex

RF Generator Model no: A3H2C200BA120G001A Power: 10 kW/13.
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