판매용 중고 RIGAKU MFM310 #9251835
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판매
ID: 9251835
웨이퍼 크기: 12"
X-Ray Reflectivity (XRR), 12"
XRR X-Ray generator
Automatic wafer handling robot system, 8"-12"
With wafer handling capability and wafer pre-aligner
(2) FOUP Load Ports, 12"
With FOUP ID Readers
Beam module:
Cu colors beam
Mo colors beam
Sample stage
With vacuum chuck, 8"-12"
Computer controlled stage motion for X, Y, 0 and Z-Axis
Precise goniometer
With sensing optical encorder system
Control and data processing system:
Control computer
Operating system: Windows XP
LCD Monitor
Air cooling chiller
Center chip
Isolated stone base for optic mechanism
Anti-vibration structure
COGNEX Pattern recognition.
RIGAKU MFM310은 산업 응용 분야를위한 X- 선 도량형 도구입니다. 고해상도 대용량 이미지를 제공하는 최첨단 X-ray 이미징 시스템입니다. 매우 다양한 샘플을 빠르게 측정하고 정확하게 특성화하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 여러 가지 고급 감지 (detection) 및 이미징 기술로 제작되어 최고의 정확성과 안정성을 제공합니다. RIGAKU MFM 310은 X- 선 검출기 모듈, 제논 튜브 및 타워와 같은 광범위한 구성 요소로 제작되었습니다. 검출기 모듈은 X 선 방사선을 감지하고 고해상도 이미지를 생성하는 데 사용됩니다. 제논 튜브 (xenon tube) 는 샘플을 조사하는 데 사용되는 X- 선 방사선의 고출력이다. "타워 '는 구성 요소 들 을 제자리 에 두고 적절 한 정렬 을 유지 하는 데 사용 되는 지지 구조 이다. MFM310은 두 가지 다른 방법으로 이미징을 사용합니다: 포인트 감지 및 전체 필드 이미징. 점 감지에서, 검출기는 샘플에 의해 생성 된 X- 선 광자의 수를 측정한다. 전체 필드 이미징 (whole-field imaging) 에서는 샘플의 피쳐의 크기와 위치가 동시에 이미지화됩니다. 이를 통해 더 정확한 측정이 가능합니다. MFM 310은 Raman 산란 분광법 및 푸리에 변환 적외선 분광법을 포함하여 다양한 분광학 옵션을 제공합니다. 이러한 기술은 샘플의 조성을 측정하고, 다른 형태의 방사선 (radiation) 과 어떻게 상호 작용하는지 결정하는 데 사용됩니다. 또한 RIGAKU MFM310은 고급 해상도 및 SNR (signal-to-noise ratio) 기능을 제공하여 정확한 분석 및 결과를 보장합니다. 이 시스템은 0.5 마이크로미터의 작은 기능을 감지 할 수 있으며 SNR은 100,000: 1 이상입니다. 이를 통해 복잡한 세부 사항을 캡처하고, 매우 작은 기능을 정밀하게 측정할 수 있습니다. 전반적으로 RIGAKU MFM 310은 산업 응용을위한 고급 X- 선 도량형 도구입니다. 고급 감지 및 이미징 기술을 통해 고해상도 대용량 이미지를 제공합니다. 또한 광범위한 분광학 기능, 고해상도 (High Resolution) 및 SNR 기능 등을 제공하여 사용자에게 이상적인 선택이 됩니다.
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