판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR NanoMapper #9203138

ADE / KLA / TENCOR NanoMapper
ID: 9203138
웨이퍼 크기: 12"
X-Ray spectrometer, 12".
ADE/KLA/TENCOR Nano Mapper는 나노 스케일 분석을 위해 고해상도 이미징을 제공하도록 설계된 X- 레이 장비입니다. 이 시스템은 나노 스케일 (nanoscale) 기능을 감지하고 분석하기 위해 작은 기능의 고해상도 이미징을 제공하는 데 적합합니다. 이 장치는 200 ~ 1000 keV 범위의 고에너지 X- 선 광자에 민감한 고급 디지털 X- 선 검출기를 사용합니다. ADE Nano Mapper는 서브 미크론 입자에서 멀티 레이어 반도체 웨이퍼 (multi-layer semiconductor wafer) 에 이르기까지 다양한 샘플 크기에 걸쳐 하위 미크론 해상도 기능을 이미징하도록 설계되었습니다. 이 기계에는 30kV로 작동할 수 있는 고속 X-ray 소스와 고해상도 이미지를 캡처할 수 있는 고정밀 CCD 카메라가 장착되어 있습니다. X 선 소스는 빔 스팟 크기를 정확하게 제어하여 균일 한 X 선 플럭스 (flux) 를 생성 할 수 있으며, 뛰어난 이미징 대비를 제공합니다. KLA Nano Mapper는 또한 특허를받은 X 선 빔 스캐닝 기술과 고속 CCD 카메라를 결합하여 고해상도로 대형 샘플을 이미지화할 수 있습니다. 이 기술을 통해 최대 0.5 ° m 해상도의 대형 샘플 이미지를 캡처할 수 있으며 공간 주파수 (Frequency) 와 오프라인 이미징 (Offline Imaging) 을 모두 제공합니다. 이 도구는 다양한 샘플 크기에서 나노 스케일 (nano-scale) 기능의 정적 이미징과 동적 이미징을 모두 제공하는 데 이상적입니다. 이 자산은 고속 (full-field image) 과 다양한 해상도의 멀티필드 (multi-field) 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 TENCOR Nano Mapper에는 샘플 크기에 걸친 정확성을 높이기 위해 자동 정렬 모델이 장착되어 있습니다. 이 자동 장비는 수동 샘플 정렬에 비해 정확도가 높은 반복 가능한 결과를 생성할 수 있습니다. Nano Mapper는 다양한 나노 스케일 (nano-scale) 기능에 고해상도 이미징 기능을 제공할 수있는 다양한 X-ray 시스템입니다. 이 장치에는 고급 X-ray 검출기, 고속 X-ray 소스, 고정밀 CCD 카메라 및 특허 빔 스캐닝 기술이 장착되어 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 기계는 나노 스케일 (nano-scale) 기능의 고해상도 이미징을 제공하는 이상적인 도구이며, 이는 연구 및 산업 응용에 귀중한 도구입니다.
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