판매용 중고 WAFER PROCESS SYSTEMS / WPS WPS-1600-FA-PP #293632755
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Wafers Process SystemWAFER PROCESS SYSTEMS/WPS WPS-1600-FA-PP (습식 스테이션) 는 반도체 장치 제조를 위해 설계된 장치 유형입니다. 이 웨이퍼 처리 장비는 얇은 웨이퍼의 박막 구조, 장치 레이어, 접촉 영역을 생성하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 저온 웨이퍼 결합을 제공하면서 이종 분사, OLED 및 액정 디스플레이 (LCD) 레이어를 만드는 데 사용할 수 있습니다. WPS WPS-1600-FA-PP는 본체 구성의 습식 스테이션입니다. 열 산화, 스핀 코팅, 시력 검사, 도핑 및 산화물 증착을 포함한 여러 가지 공정 장비가 가능합니다. 각 프로세스는 사용자 인터페이스를 통해 제어되며, 이 인터페이스는 전체 프로세스를 추적 가능한 전자 로그 (tracable electronic log) 에 기록합니다. 제어 장치는 또한 온도 및 가공 가스를 모니터링합니다. WAFER PROCESS SYSTEMS WPS-1600-FA-PP는 5 나노미터 (nm) 너비의 매우 얇은 필름 레이어로 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. 공정 은 "와퍼 '가" 챔버' 꼭대기 에 있는 "슬롯 '을 통해 공급 되는 것 으로 시작 된다. 그런 다음 웨이퍼는 일련의 사전 처리 단계로 사전 처리되며 코팅 (coated), 박막 (thin-film) 증착 또는 패턴화 (patterned) 된 후 포스트 처리 단계를 거칩니다. WPS-1600-FA-PP (Advanced View Machine and Automation Software) 는 고급 뷰 머신 및 자동화 소프트웨어를 사용하여 엔지니어가 아무런 개입 없이 전체 프로세스를 설정하고 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 비활성 대기 환경 (inert atmosphere environment) 과 비활성 가스 인터페이스 도구 (inert-gas interface tool) 가 포함되어 있습니다. WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS WPS-1600-FA-PP는 얇은 웨이퍼의 정확하고, 고품질 및 반복 가능한 처리를 위해 설계되었습니다. 전체 자산은 높은 처리량과 우수한 제품 생산량을 제공합니다. 이 장치는 또한 유연한 설계 (Flexible Design) 를 통해 프로세스 레시피를 변경하고 운영 중 여러 장치 레이어를 수정할 수 있습니다. WPS WPS-1600-FA-PP는 안전성 향상을 위해 설계되었으며, 가스 공급 고장, 폭발 가능성 등 잠재적 위험으로부터 보호합니다. 모든 기능을 갖춘 이 웨이퍼 (wafer) 처리 모델은 씬 웨이퍼 (thin wafer) 를 사용하는 모든 회사 또는 리서치 센터에 이상적인 선택입니다.
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