판매용 중고 WAFER PROCESS SYSTEMS / WPS SLFFH-600-P #9003748

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습식 스테이션
제조사
WAFER PROCESS SYSTEMS / WPS
모델
SLFFH-600-P
ID: 9003748
Wet Station HBT Acid/Corrosive/Etch chemical 60HZ 208V 3 Phase 45 amps 5 Wires Electrical Diagram # 0154356 Station # 2 HBT PNL 2M/32 34 36 All Controls are made by Wafer Process Systems 1) Switch Panel: WP5 Model 200 ASP Auxiliary 2) EPO: Model 100 Emergency Power off Panel 3) Process Timer: Model 1000T 4) Cycles: Model 20000 QDL Quick Dump Logic Station # 2 HBT Sink D546 All Controls are made by Wafer Process Systems 1) Resistivity Monitor: Model 900RM 2) Temperature/Time Controller: Model 3000 TTC 3) Process Timer: Model 1000T 4) Cycles: Model 20000 QDL Quick Dump Logic 5) Local Exhaust Ventilation: 1027 Hercules Foot Switch: CAT # 531-SWN Nema Type 2, 4 & 13 Extra parts included.
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WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-P 습식 스테이션은 다양한 생산 환경에서 소형/대형 평면 웨이퍼를 처리하도록 설계된 자동화되고 완전히 통합 된 장비입니다. 컨베이어 역할을하는 일련의 회전 용지함 (rotating tray) 이 특징이며, 정확하고 재현 가능한 제품 로딩 및 언로드가 가능하며, 2 개의 대칭 위치 난방 모듈이 있어 온도가 균일합니다. 이 시스템은 다양한 화학 공정, 얇아짐 (thinning), 에칭 (etching) 및 클리닝 (cleaning) 작업을 포함한 다양한 프로세스와 재료를 위해 설계되었으며 코팅, 레이저 스크리빙, 로봇 시스템 (옵션) 을 장착할 수 있습니다. WPS SLFFH-600-P는 최대 직경 600mm, 최대 20mm 두께의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 이 장치는 시간당 최대 500 웨이퍼의 처리량으로 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있습니다. "웨이퍼 '는 회전 하는" 트레이' 에 적재 되며, 회전식 으로 "웨이퍼 '에 최대 6 가지 공정 을 적용 할 수 있다. 모든 프로세스는 시스템의 전용 컨트롤러 (controller) 에 의해 관리되므로 전체 운영 프로세스를 정확하고 일관되게 제어할 수 있습니다. WAFER PROCESS SYSTEMS SLFFH-600-P (WAFER PROCESS SYSTEMS SLFFH-600-P) 는 정확한 속도 제어를 위한 강력한 스테퍼 모터를 갖추고 있으며, 고급 듀얼 펌프 툴은 솔루션의 속도와 흐름을 제어할 수 있습니다. 이 습식 스테이션 (Wet Station) 은 또한 연속 프로세스 모드를 제공하여 최대 1,800 개의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 로딩 속도는 분당 최대 10 개의 웨이퍼입니다. 자산은 또한 입자 수집 (particle collection) 및 재활용 모델 (recycling model) 로 설계되어 깨끗하고 친환경적인 운영을 가능하게합니다. SLFFH-600-P는 강화된 구조와 고급 안전 기능 덕분에 안정성이 높고 견고합니다. 이 장비는 인력의 안전을 보장하기 위해 광범위한 안전 테스트를 거쳤으며, 경보 (alarm) 와 비상 정거장 (emergency stop) 을 갖추고 있습니다. 또한, 시스템은 충격과 진동으로부터 보호되며, 온도 관리 장치는 최적의 작업 조건을 보장합니다. WAFER PROCESS SYSTEMS/WPS SLFFH-600-P는 다양한 산업용 씬/대형 평면 웨이퍼를 처리하는 데 적합한 안정적이고 효율적인 습식 스테이션입니다.
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