판매용 중고 WAFAB WHRV-5067-134A #9152847
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ID: 9152847
Temperature controller circulator
Heater: 1500 Watt
Compressor: 0.25 Hp
120 V, 14.7 A
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WAFAB WHRV-5067-134A 습식 스테이션은 다양한 반도체 처리 응용 분야를 위해 설계된 다기능 습식 벤치 장비입니다. 이 제품은 다양한 특수 기능을 수용할 수 있도록 2 개의 기본 모듈 (습식 처리 모듈 (wet processing module) 과 건식 처리 모듈 (dry processing module)) 로 설계되었습니다. 습식 스테이션에는 두 가지 주요 구성 요소, 습식 싱크 분지 및 진공 플랫폼이 있습니다. 습식 싱크 분지는 저압 챔버 (low-pressure chamber) 와 고압 챔버 (high-pressure chamber) 로 설계되었으며, 둘 다 정밀한 수준의 물 흐름을 유지하기 위해 흐름 제한기를 특징으로합니다. 고압 챔버 (High-pressure Chamber) 에는 스프레이 노즐 (Spray Nozzle) 이 장착되어 웨이퍼 위의 물이 흐르고 깨끗하고 고품질 결과를 제공합니다. 진공 플랫폼은 스트립핑 (stripping), 수정 성장 (crystal growth), 에칭 (etching) 및 웨이퍼의 공압 샘플링 (pneumatic sampling) 과 같은 다양한 설계 프로세스를 수용하도록 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 습식 스테이션에는 수온, 물 흐름 속도 및 화학 복용량을 제어하고 모니터링하기위한 PLC (Programmable Logic Controller) 도 있습니다. 또한 정확한 온도 범위를 유지할 수있는 내장 히터 및 온도 조절 장치 (thermostat) 가 특징입니다. 이 시스템에는 깨끗한 물을 보장하기 위해 자외선 광원, 배기 팬, 물 여과 장치 (water filtration unit) 가 추가로 장착되어 있습니다. 여과 장치 는 오염 물질, 입자, 기타 불순물 을 제거 하여, 훌륭 한 처리 결과 를 보장 하도록 설계 되었다. WHRV-5067-134A 습식 스테이션에는 인터록, 잠금 태그, 비상 정지 단추 등 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 이 모든 기능은 안전한 운영 환경을 보장하는 데 도움이 되며, 이 툴은 CE 및/또는 UL 이 정한 안전 표준 (Safety Standard) 을 충족하도록 인증되었습니다. 요약하면, WAFAB WHRV-5067-134A 습식 스테이션은 다기능 청소실 등급 습식 벤치 자산입니다. 광범위한 특수 기능을 수용하기 위해 2 개의 모듈 (습식 처리 분지 및 진공 플랫폼) 으로 설계되었습니다. 이 스테이션에는 수온, 유량 (flow rate), 화학 복용량 및 기타 안전 기능을 제어하고 모니터링하는 PLC (PLC) 가 있어 뛰어난 운영 안전을 보장합니다.
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