판매용 중고 UNIVERSAL Wet bench cleaning system #293587907
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ID: 293587907
Type: Silicon Genesis SiGen 4
Ventilated chemical storage cabinets
Teflon chemical delivery cart
Spill capture tray
Associated components
Tanks:
SC1
SC2
HF
Mega-sonic cleans.
유니버설 웨트 (Universal Wet) 벤치 클리닝 장비는 반도체 제조 및 연구 시설에서 기판 청소 및 처리를 위해 설계된 정교하고 다목적 인 습식 스테이션입니다. 이 최첨단 시스템은 정밀 청소 기능과 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 결합하여 반도체 산업의 엄격한 청결 요건을 충족시킵니다. 습식 벤치 클리닝 장치 (Wet bench cleaning unit) 는 단일 플랫폼에 통합된 일련의 모듈로 구성되며, 각각 기판 클리닝 프로세스의 특정 기능을 제공합니다. 이 모듈에는 화학 분배 장치, 린싱 챔버, 건조 스테이션 및 폐기물 관리 시스템이 포함됩니다. 이 기계는 구성 능력이 뛰어나 특정 청소 요구와 프로세스에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다 (영문). UNIVERSAL Wet 벤치 클리닝 도구의 주요 기능 중 하나는 고급 화학 분배 기능입니다. 이 자산에는 정밀 투여 펌프 (precision dosing pump) 와 자동 혼합 시스템 (automated mixing system) 이 장착되어 있어 청소 화학 솔루션의 정확한 분배가 가능합니다. 따라서 일관되고 통제되는 클리닝 프로세스를 통해 가변성 (variability) 및 오류 위험을 최소화할 수 있습니다. 습식 벤치 클리닝 모델 (Wet bench cleaning model) 의 린싱 챔버 (rinsing chamber) 는 클리닝 프로세스 후 기판의 효율적이고 철저한 링싱을 제공하도록 설계되었습니다. 이 챔버에는 여러 개의 스프레이 노즐 및 물 재순환 시스템이 장착되어 있어 최적의 링 성능을 보장합니다. 이 장비에는 더 높은 청결 수준을 달성하기위한 핫 DI 워터 린싱 (hot DI water rinsing) 및 메가 소닉 클리닝 (megasonic cleaning) 옵션도 포함됩니다. 습식 벤치 시스템 (Wet Bench System) 은 클리닝 및 린싱 기능 외에도 기판 후 클리닝의 철저한 건조를위한 건조 스테이션을 갖추고 있습니다. 이러한 건조 스테이션은 스핀 건조, N2 블로우 오프 (blow-off) 및 핫 플레이트 (hot plate) 기술의 조합을 사용하여 기판에 잔류를 남기지 않고 빠르고 효과적인 건조를 보장합니다. 폐기물 관리는 UNIVERSAL Wet 벤치 청소 장치의 또 다른 중요한 측면입니다. 이 기계는 청소 과정에서 발생하는 화학 폐기물을 효율적으로 처리 및 폐기하기 위해 통합 폐기물 수집 (integrated waste collection) 및 처리 시스템 (treatment system) 을 갖추고 있습니다. 환경 영향을 최소화하고 규제 요건을 준수하기 위해 고급 여과 시스템이 사용됩니다. 습식 벤치 클리닝 도구 (Wet Bench Cleaning Tool) 는 사용자 친화적 인터페이스와 고급 제어 시스템으로 설계되어 운영 및 모니터링을 간소화합니다. 에셋은 터치스크린 디스플레이, 레시피 관리 기능, 실시간 모니터링 기능 등을 제공하여 효율적이고 안정적인 청소 프로세스를 지원합니다. 또한, 습식 벤치 (Wet Bench) 모델은 견고한 재료와 컴포넌트로 제작되어 까다로운 반도체 제조 환경에서 내구성과 장기적인 신뢰성을 보장합니다. 이 장비는 화학적 유출 격리 시스템 (chemical spill containment system) 과 연출 기능 (fume extraction capability) 과 같은 기능을 통해 청결 및 안전에 대한 산업 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 결론적으로, UNIVERSAL Wet 벤치 클리닝 시스템은 반도체 기판 청소 및 처리를 위한 최첨단 솔루션입니다. 고급 기술, 맞춤형 구성, 종합적인 청소 기능을 갖춘 습식 벤치 (Wet Bench) 장치는 고정밀 반도체 제조 어플리케이션을 위한 탁월한 성능과 효율성을 제공합니다.
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