판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9292570
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ID: 9292570
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Wet station, 8"
Process: Post cleaner
Chemical supply unit
UPS
Exhaust blower unit
Hot DIW unit
Organic scrubber
Acid / Alkali scrubber
IPA Recycle unit
AC Power box
Position / Name / Material / Temperature control / Measuring / Pump / Filter / Chemical supply / Drain exhaust
POS11 / UL / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
POS10 / ID / Quartz / SS HEAT / - / Dip / - / - / Organic
POS09 / FR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS08 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2" / - / - / - / Natural
POS07 / HPM / Quartz / CS heat / 3 / Circulation / Filtering / CCSS / Acid
POS06 / OF / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS05 / HQDR / Quartz / Qtz heat / 2 / - / - / - / Natural
POS04 / APM / Quartz / CS heat / 1 / Circulation / Filtering / CCSS / Alkali
POS03 / QDR / Quartz / - / - / - / - / - / Natural
POS02 / CHCL / PVC / - / - / - / - / - / Natural
POS01 / LD / PVC / Ionizer / - / - / - / - / Natural
Measuring instrument: KURABO Resistivity meter / Temperature controller / APM Concentration meter
Controller: TEL / TOKYO ELECTRONICS Board
FF-20HT Pump
MILLIPORE TAAD011G19E5H23D Filter
THE-63Q CS Heat
Fire extinguisher: Cabinex-EN
Signal tower: 4 Color (GYWR)
PATLITE LED Type
Missing parts:
IPA Vapor dryer Quartz bath
(2) Robot chucks
HPM Plate
APM Plate
Sonic generator
Power supply:
200 V, 150 A, 3 Phase
100 V, 60 A, Single phase
100 V, 5 A, Single phase
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000은 다양한 nanofabrication 프로세스에 이상적인 다용도 직관적 인 습식 스테이션입니다. 500nm에서 200nm 사이의 고급 나노 스케일 (nanoscale) 기능을 만들도록 설계된 컴퓨터 제어 몰입 초고해상도 리소그래피 도구입니다. 이 정밀 도구는 강렬한 빛의 빔을 사용하여 매우 작은 웨이퍼 (wafer) 또는 기판에 복잡한 패턴을 "에치 (etch)" 하여 놀라운 정확도로 마이크로 일렉트로닉 제품을 만듭니다. TEL UW-8000에는 X, Y 및 Z 축으로 움직일 수있는 조절 가능한 고정밀 기판 단계가 장착되어 있으며, 각 축에 2 미크론 해상도를 제공하는 스테퍼 모터가 장착되어 있습니다. 내장 조명기는 다양한 광원을 수용할 수 있으며, 400 ~ 800nm 사이의 파장을 가진 빔을 생산하도록 조정됩니다. "와퍼 '를 저항성 물질 에 담그는 것 과 더불어," 토오쿄오' 전자 UW 8000 은 또한 청정/광택 기질 뿐만 아니라 물질 을 에치 하거나 기화 시키는 데 사용 할 수 있다. "웨이퍼 '는 진동 을 최소화 하기 위해 기계적 으로 지지 되며," 스테이션' 은 완전 히 자동화 되어, 무인 상태 에서도 여러 가지 과정 을 수행 할 수 있게 해 준다. 이 제품은 실험실 또는 클린 룸 (Clean Room) 환경에 손쉽게 통합할 수 있는 소형 설치 공간과 어플리케이션 유연성을 극대화하기 위한 작고 가벼운 장치 (Lightweight Unit) 로 설계되었습니다. TOKYO ELECTRON UW-8000의 직관적 인 사용자 인터페이스는 쉽게 작동하도록 설계되었습니다. GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 프로세스의 모든 단계를 거칩니다. 이를 통해 사용자는 자신의 사용자 정의 레시피를 공식화하고 더 복잡한 에칭 패턴을 설정할 수 있습니다. 이 스테이션에는 상대 습도를 모니터링하고 제어하도록 설계된 2 개의 습도 관리 시스템 (wafer) 이 있으며, 웨이퍼는 건조하고 오염이 없습니다. 마지막으로, UW 8000 은 저렴한 가격으로 사용할 수 있는 신뢰성이 뛰어난 툴로서, 현대적인 저가 방식으로 정교한 나노스케일 (Nanoscale) 제품을 생산하려는 사람들에게 적합합니다. UW-8000 (UW-8000) 은 다양한 프로세스에서 수율을 높일 수있는 능력으로, 나노 제작 실험실에 귀중한 투자입니다.
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