판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9223611

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000은 배치 및 단일 웨이퍼 처리 응용 분야를 위해 특별히 설계된 습식 스테이션입니다. 이 장비는 에치, 얇은 증착, 용매 청소, 화학 기계 연마 (CMP) 및 젖은 화학 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. TEL UW-8000 은 단일 웨이퍼와 일괄 처리 (최대 200 개 웨이퍼) 를 모두 처리할 수 있는 유연한 시스템입니다. 여기에는 각각 4 개의 개별 프로세스 셀로 구성된 2 개의 프로세스 모듈이 장착되어 있으며, 모두 분리되어 있습니다. 따라서, 이 장치는 추가 액세서리 없이 단일 웨이퍼 (single wafer) 및 배치 처리 (batch processing) 를 모두 처리 할 수 있습니다. 프로세스 셀은 슬라이드 열린 게이트 (gate) 를 통해 개별 웨이퍼에 쉽게 액세스 및 로드/언로드할 수 있습니다. 손쉽게 작동할 수 있는 터치스크린 디스플레이 (touchscreen display) 를 사용하여 프로세스 레시피의 설정과 제어를 손쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 직관적 인 레시피 에디터/관리 머신 (recipe editor/management machine) 과 함께 제공되어 모든 매개변수가 올바르게 설정되고 기록되도록 합니다. 내장형 경보 관리 (Alarm Management) 툴은 운영 중 필요한 운영자의주의를 기울여 Wafer 품질을 유지하는 데 도움이 됩니다. 챔버 (chamber) 의 디자인은 항상 균일 한 웨이퍼 프로세스를 보장하는 한편, 우수한 온도 및 습도 제어를 제공합니다. 챔버에는 챔버의 온도와 습도를 제어하기 위해 멀티 존 (multi-zone) 배기 에셋이 장착되어 있습니다. 또한 균일 한 환경을 유지하면서 정확한 흐름을 가능하게하는 등각 흐름 (conformal flow) 기술이 특징입니다. 통일성을 유지하기 위해 TOKYO ELECTRON UW 8000 모델에는 실시간으로 공기 미립자 오염량을 측정하는 현장 오염 모니터도 있습니다. TEL UW 8000 장비는 독특하고 신중하게 설계된 시스템으로, 매번 일관된 고품질 결과를 제공합니다. 여러 프로세스 셀, 단순 자동화 장치 및 경보 관리 머신을 사용합니다. 이 도구는 모든 환경에서 정확하고 반복 가능한 습식 화학 처리를 가능하게합니다.