판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-8000 #9185010

TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000은 반도체 장치 제조를위한 습식 스테이션 솔루션입니다. 그것은 모든 크기의 기질에서 실리콘, 갈륨 비소, 실리콘 게르마늄, 실리콘 온이 스터, 갈륨 질화물 기반 HEMT를 포함한 다양한 재료 세트에 이르기까지 다양한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. TEL UW-8000 (TEL UW-8000) 은 복잡한 습식 (Wet Etch) 프로세스를 안정적이고 안전한 방식으로 완료할 수 있으며, 정확한 산업 사양에 맞는 정확성과 반복 성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON UW 8000은 통합 청소 장비와 고속 동요 및 여과를 갖춘 최대 16 개의 공정 챔버를 제공합니다. 이 시스템은 프로세스 요구 사항을 최적화하고 제어할 수 있는 정확한 정확도로 최대 8 개의 레시피 (레시피) 를 완성할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UW-8000에는 최고 품질의 재료 제어를 위해 단일 또는 듀얼 크리스탈 쿼츠 기술이 장착되어 있으며, 이는 5 나노미터 이내까지 에칭 할 수 있습니다. 통합 ECR (e-gun) 은 잔류 금속 필름의 형성을 줄이는 데 도움이되는 저온 에칭을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON UW 8000에는 가스 사용을 최소화 할 수있는 특허 된 가스 동적 및 유전체 마그네트론 장치 (gas-dynamic and dieletron unit) 가 포함되어 있으며, 내부 및 외부 가스 공급 모두에 대한 정밀 가스 제어 및 에너지 비용 절감을 제공합니다. UW-8000 의 자동 로드 및 언로드 기능으로 최대 4 인치 기판의 처리 시간이 향상됩니다. 이 시스템은 프로세스의 모든 측면을 제어하는 PC (dynamic personal computer) 인터페이스를 갖추고 있습니다. TEL UW 8000 은 TEL UW 8000 의 기능과 더불어 모든 조건에서 높은 수준의 안전성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. UW 8000 은 모든 국제 안전 기준 (International Safety Standard) 을 충족하며 정확성과 정확성을 보호하기 위해 진동 테스트를 거쳤습니다. TEL/TOKYO ELECTRON UW-8000 은 또한 자가 진단 및 모니터링 기능, 실시간 성능 데이터를 제공하는 원격 모니터링 툴 등, 문제 없는 유지 보수를 위한 방대한 기능을 제공합니다. 간단히 말해서, TEL UW-8000 습식 스테이션 (wet station) 은 광범위한 어플리케이션 요구를 충족하는 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공하며, 최소한의 가스 사용량과 안전한 원격 모니터링을 위한 정밀 에칭을 제공합니다. 동적 기능과 안전 프로토콜을 갖춘 TOKYO ELECTRON UW 8000 은 반도체 업계에 이상적인 선택입니다.