판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9392079

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 올인원 습식 스테이션입니다. 이 다기능 스테이션에는 고압 분무기, 습식 가공 욕조, 액체 폐기물 보유 탱크, 전송 로봇, 증기 건조기 및 UV 경화 램프가 포함됩니다. 고압 분무기는 공정 (process) 과 마감 (finish) 전에 웨이퍼 및 기타 부품을 세척하고 청소하는 데 중요합니다. 이 습식 스테이션은 0.8mm 노즐 직경의 70 ~ 85 바 (bar) 의 고압 범위를 갖추고 있으므로 손상 위험없이 섬세한 부품을 정확하게 청소하는 데 이상적입니다. 그것 은 또한 강하면서도 부드러운 "스프레이 '를 포함 하여 최소 의" 스플래싱' 이나 과도 한 기도 로 능률적 인 세탁 을 할 수 있다. 습식 처리 목욕은 에칭, 청소, 전기 도금, 배율 처리 등 다양한 프로세스를 위해 설계되었습니다. 이 다양한 목욕탕은 사용자에게 섭씨 0 ~ 120 도의 다양한 온도를 제공합니다. 또한 프로세스 단계에서 균질한 재료 분배를 보장하기위한 동요 장비도 포함됩니다. 또한, 이 목욕탕에는 선택적 배수 (Drain) 기능이 있으며, 이를 통해 청소할 때 목욕을 빠르고 효율적으로 배수할 수 있습니다. 전송 로봇은 AGV (Automatic Guided Vehicle) 기반 시스템 및 사용자 프로그래밍 가능한 설정을 통해 효과적이고 효율적인 재료 운송을 위해 설계되었습니다. 로봇은 운영자에게 시작점 설정, 메모리 다중 경로 작업, 위치/데이터 복원 등 다양한 작동 옵션을 제공합니다. 또한, 이 로봇은 모든 명령을 확인하고 의도하지 않은 프로세스를 방지하는 명령 검증 장치 (command validation unit) 를 갖추고 있습니다. 스테이션의 또 다른 구성 요소 인 증기 건조기 (steam dryer) 는 최대 8 분의 광범위한 건조 전 시간으로 샘플의 완전한 건조를 용이하게합니다. 이 건조기는 효율적이고 일관된 건조 과정을 제공하는 효과적인 간접 드럼 건조 머신 (drum drying machine) 을 갖추고 있습니다. 옵션 인 UV 치료 램프 (UV curing lamp) 도 스테이션에 포함되어 있으며, 사용자에게 내열성 마감 기능을 제공하고 전체 프로세스 시간을 단축할 수 있습니다. 결론적으로, TEL UW300Z는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 다재다능한 습식 스테이션입니다. 이 스테이션에는 고압 스프레이어, 습식 처리 욕조, 전송 로봇, 증기 건조기, UV 치료 램프 등 다양한 구성 요소가 포함되어 있으므로 별도의 추가 장비 없이 모든 프로세스를 완료 할 수 있습니다. 효율적이고 완전한 건조 공정으로 인해이 습식 스테이션은 반도체 제조 응용 분야에 이상적입니다.