판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9314664
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ID: 9314664
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Wet station, 12"
TOADK AQM-100A Resistivity meter measuring system
MITSUBISHI Q06UDHCPU PLC
Gas: H2O2, NH4OH, H2SO2, HCL, IPA
Temperature controller
SRM Tank
Exhaust unit
Main PC
Robot:
RL: VEXTA AKD514H-A / VEXTA PK596AW1-A11
UD: Oriental ARD-A / Oriental ARM98MC-A4
FF-20BT1-T8 Pump
MA901-8FK29-88-3 Heater
Signal tower: (4) Colors (GYWR) PATLITE LED
(2) Teach pendants (Main / Spin dry)
Missing parts
UPS: 208 V, 50 A, Single phase
Power supply: 208 V, 3-Phase, 150 A
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z는 사진 촬영 및 개발과 같은 습식 화학 가공 응용 분야에 사용하도록 특별히 설계된 습식 스테이션입니다. TEL UW300Z (TEL UW300Z) 는 견고하고 신뢰할 수 있는 장치로, 작동하기 쉽고, 가장 까다로운 습식 처리 어플리케이션에 탁월한 서비스 수명을 제공합니다. 이 장치는 높은 수준의 반복성과 신뢰성을 제공하며, 단일 배치에서 최대 300 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 습식 스테이션은 직관적 인 사용자 인터페이스를 특징으로하며 다른 TEL 습식 처리 장비와 밀접하게 통합됩니다. 이 습식 스테이션의 중심에는 최첨단, 완전 전동 웨이퍼 팔레트 로더 (pallet loader) 장비가 있어 웨이퍼 운송의 유연성이 뛰어납니다. 로더 메커니즘은 100mm ~ 300mm 크기의 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었습니다. "웨이퍼 '들 은 기계적 으로 안정 된 상태 를 유지 하고 잠재적 인" 입자' 오염 의 위험 을 줄이기 위하여 수송 중 에 안전 하게 보관 된다. 도쿄 전자 UW 300Z (TOKYO ELECTRON UW 300Z) 는 완전하게 조절 가능한 3 점 조정 시스템을 사용하여 처리 용 웨이퍼를 정확하게 정위하는 웨이퍼 처리 로봇을 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON UW 300 Z에는 다양한 고급 안전 및 환경 보호 기능도 장착되어 있습니다. 가열 된 공기 덮개 (heated air cover) 는 작동 중 열 표면 온도가 허용되는 한계 내에 유지되도록 제공됩니다. 이 장치는 또한 유량 센서 (flow sensor) 를 사용하여 젖은 스테이션에 대한 화학 물질 공급을 모니터링하고 제어합니다. 이것 은 정밀 한 양 의 화학 물질 이 특히 공정 요구 조건 에 맞춘 것 이 되게 하며, 화학 물질 의 "유출 '이나" 유출' 의 위험 을 감소 시킨다. 높은 수율 을 보장 하기 위하여, "도쿄 '전자 UW300Z 는 또한 여러 가지 정교 한 결함 탐지 및 예방" 시스템' 을 갖추었다. 이 장치에는 처리 된 웨이퍼에 존재하는 침전물을 감지하고 식별하는 내장 입자 탐지 장치 (bist-in particle detection unit) 가 포함되어 있습니다. 단위는 결함 또는 수익률이 떨어지기 전에 프로세스 이상을 감지하기 위한 온도, 압력 (temperature, pressure) 과 같은 주요 프로세스 매개변수를 측정하도록 구성할 수도 있습니다. UW-300Z는 효율적인 습식 처리에 필요한 모든 기능을 제공합니다. TEL UW-300Z는 전동식 로더 머신 (Motorized Loader Machine) 과 웨이퍼 처리 로봇 (Wafer Handling Robot) 과 첨단 안전 및 결함 방지 시스템을 결합하여 최첨단 프로세스 제어 및 반복 기능을 제공합니다.
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