판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9282761

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z는 웨이퍼 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 습식 스테이션입니다. 이 장치는 주로 고정밀 에칭 스테이션으로 사용되며, 최대 8 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. TEL UW300Z는 8x10-3 Pa.의 진공을 달성 할 수있는 터보 분자 펌프 (Turbo molecular Pump) 를 특징으로합니다. 이 진공 능력은 식각 프로세스에 필수적입니다. TOKYO ELECTRON UW 300Z는 또한 가장 복잡한 8 인치 웨이퍼 디자인조차도 처리하기위한 12 축 컨트롤을 갖추고 있습니다. 또한 어닐링 (Annealing) 및 패시베이션 (passivation) 과 같은 에치 후 처리를위한 핫 플레이트가 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON UW300Z는 온도 범위 20 ° C - 200 ° C 내에서 작동하여 모든 웨이퍼 위치에서 균일 한 온도를 생성하므로 반복 가능하고 정확한 에칭 결과를 얻을 수 있습니다. 이 역에는 푸메 추출기 (fume extractor) 와 화학 후드 (chemical hoood) 도 포함되어 있으며, 둘 다 깨끗하고 안전한 작업 환경을 유지하는 데 도움이됩니다. 또한 이 장치에는 시스템 성능에 대한 실시간 데이터를 제공하는 진단 시스템 (Diagnostics System) 이 장착되어 있습니다. 여기에는 총 에치 시간, 가스 압력, 열 프로파일 등과 같은 정보가 포함됩니다. 따라서 문제 해결 시간을 단축하고 정확성과 정확성을 보장할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON UW 300Z는 8 인치 웨이퍼 처리에 최적화된 고성능 습식 스테이션입니다. 진공 기능, 12 축 제어, 온도 범위, 진단 시스템 등의 기능을 결합하여 모든 칩 제작 프로세스에 적합합니다. 이 장치는 정확성, 반복성 및 안전성을 보장하며, 현대 웨이퍼 제작을위한 귀중한 도구입니다.