판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9230208
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ID: 9230208
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
Wet bench, 12"
Wafer flow direction: Rear to front
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z는 반도체 제조 공정에 사용되는 고급 습식 스테이션입니다. 이 제품은 300V (Ultra-Low Voltage) 처리 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었으며, 최적의 정밀도로 프로세스 시퀀스를 실행할 수 있습니다. 이 습식 스테이션 (wet station) 은 복잡한 장치를 만들기 위해 다른 프로세스에 대해 여러 개의 챔버를 조정할 수 있습니다. TEL UW300Z에는 모든 작업에 대한 정확한 조작을 제공하는 더블 암 (double-arm) 로봇 전송 장비가 있습니다. 이중 암 (Dual Arm) 로봇 구조는 전체 프로세스 전체에서 웨이퍼가 부드럽게 처리되도록 보장합니다. 또한, 고급 비전 시스템의 도움으로 로봇 속도, 효율성, 신뢰성이 최대화됩니다. 이 습식 "스테이션 '은 또한 움직 일 수 있는" 가스' 공급 "라인 '을 갖추고 있는데, 이것 은 압력 을 상실 하지 않고 원하는 지역 을 향해" 가스' 를 정확 하게 처리 할 수 있다. "가스 '공급" 라인' 을 사용 함 으로써 더 높은 밀도 의 작용 이 가능 해지고 오염 의 위험성 이 감소 된다. TOKYO ELECTRON UW 300Z 습식 스테이션에는 공정 챔버의 냉각 및 가열을위한 소스 및 싱크 기능이 모두 있습니다. 이렇게 하면 균일성과 정확도가 높아집니다. 습식 스테이션 (Wet Station) 에는 프로세스 챔버 (Process Chamber) 에 대한 무단 액세스를 방지하는 보안 잠금 장치 (Security Lock Unit) 와 같은 다양한 안전 조치가 장착되어 있습니다. 안전하고 안전한 환경은 잠재적인 프로세스 장애를 방지하는 데 도움이 됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON UW300Z 습식 스테이션은 모든 반도체 생산 시설에 귀중한 추가 기능입니다. 광범위한 처리 (processing) 기능을 갖추고 있으며 전체 작업 중 정확성과 안전성을 보장합니다. 듀얼 암 로봇 운동, 최첨단 비전 머신, 가스 공급 라인을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON UW 300 Z 습식 스테이션은 모든 반도체 생산 요구에 적합하고 효율적인 솔루션입니다.
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