판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9221726
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TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z는 화학 가공 및 표면 엔지니어링에 사용되는 습식 스테이션입니다. 습식 가공 솔루션 및 화학 물질을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 이 스테이션은 수많은 응용 분야에서 다양한 종류의 재료에 균일 한 처리 처리를 제공합니다. 이 "시스템 '에는" 스테이션' 의 기초 역할 을 하는 저수지 조립 장치 가 갖추어져 있다. 기본 장치, 회전 터렛 및 홀더 어셈블리가 포함됩니다. 이 저수지 조립물은 가공 용액과 화학 물질을 보관하는 데 사용됩니다. 그것 은 "스테인레스 '강철 재료 로 만들어져 있으며, 고도 의 내식성 과 내구성 을 제공 한다. 스테이션의 기본 단위는 두 가지 주요 구성 요소 (상위 및 하위 챔버) 로 구성됩니다. 상공 "챔버 '는 가공 용액 을 보유 하고, 하방 은 화학 물질 을 저장 하는 데 사용 된다. 상공 약실은 세공 스테인레스 스틸 메쉬, 다공성 세라믹 기판, 스테인레스 스틸 메쉬 등 3 층의 재료로 구성됩니다. 아랫방 에는 두 층 의 재료 - 스테인리스 스틸 메시 와 다공성 세라믹 기판 - 가 들어 있다. 이 이중 안감은 최적의 화학 안정성과 균일성을 보장합니다. 회전 "터렛 '은 상공 에 부착 되어 있으며, 처리 되는" 웨이퍼', 기판 혹은 기타 부품 에 용액 을 분배 하는 데 사용 된다. "터렛 '은 움직 이는 동안 회전 하며 특정 한 행동 을 반복 하도록" 프로그램' 될 수 있다. 이렇게 하면 부품의 정확성과 정밀도를 균일하게 처리할 수 있습니다. 홀더 어셈블리는 하부 챔버 (lower chamber) 에 연결되며 웨이퍼 (wafer), 기판 (substrates) 또는 기타 부품을 포함하여 처리할 다양한 재료를 보관하는 데 사용됩니다. 또한 처리 솔루션의 온도를 모니터링하고 자동으로 조정하는 센서 () 를 포함합니다. 이렇게 하면 전체 스테이션에서 일관된 온도를 유지하며, 처리 중인 부품의 손상을 방지할 수 있습니다. TEL UW300Z 습식 스테이션은 화학 가공 및 표면 엔지니어링을위한 고급 플랫폼입니다. 부식 및 마모 방지 재료와 자동 시스템을 결합하여 정확하고 균일 한 처리 처리를 제공합니다. 스테이션의 고유한 기능 조합을 사용하면 수많은 어플리케이션에서 고품질 (High Quality) 결과를 얻을 수 있습니다.
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