판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #9211144

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z (TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z) 는 소형적이고 비용 효율적인 고밀도 습식 식각 및 증착 프로세스를 수행하도록 특별히 설계된 고급 습식 공정 스테이션입니다. 습식 스테이션 (wet station) 은 반도체 장치 제작을위한 에칭 (etching) 및 증착 프로세스 (deposition process) 또는 박막 청소 및 증착 (depositing thin film) 과 같은 보다 일반적인 습식 프로세스 (wet process) 와 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. TEL UW300Z는 고정밀 습식 에칭, 전기 화학 증착, 스핀 코팅 등 다양한 습식 화학 기능을 갖추고 있습니다. 이 스테이션은 또한 초저 프로파일 (ultra-low-profile) 설계를 갖추고 있으며, 다양한 장비와 통합 될 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 유연성을 높이고 다른 프로세스와 효율적으로 통합할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON UW 300Z는 온도, 압력, 액체 유량 (liquid flow rate) 과 같은 광범위한 제어 매개변수를 가지고 있으며, 이를 통해 사용자는 에칭 및 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 스테이션에는 5 축 조작기, 샘플 스테이지 및 폐쇄 루프 화학 분배 시스템 (closed-loop chemical dispense system) 이 포함되어 있어 일관되고 반복 가능한 결과를 유지할 수 있습니다. 스테이션은 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하며, 프로세스의 상태를 명확히 보여주기 위해 고유한 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 를 제공합니다. 이를 통해 프로세스 설정 시간을 단축할 수 있으며, 온보드 전문가 시스템 (On-Board Expert System) 은 사용자가 프로세스를 실행하는 동안 발생하는 모든 문제를 해결할 수 있도록 도와줍니다. TOKYO ELECTRON UW-300Z는 사용자에게 광범위한 기능과 이점을 제공하는 강력한 건식 (dry-process) 스테이션입니다. 광범위한 프로세스 제어 (process controlling) 기능과 결합된 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 다양한 업종의 프로세스를 에칭 및 배치하는 데 이상적인 툴이 됩니다.