판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON UW-300Z #293821721

TEL/TOKYO ELECTRON UW-300Z는 웨이퍼 처리를 위해 설계된 완전 자동 습식 벤치 스테이션입니다. 높은 정밀도, 높은 생산성, 그리고 완벽한 자동 (fully automated) 습식 솔루션 스테이션으로 최고의 효율성을 제공합니다. 최고 300mm 직경의 웨이퍼를 최고 속도, 정확도로 처리 할 수 있습니다. 이 젖은 스테이션은 실리콘, 갈륨 비소, 실리콘 게르마늄, 질화 알루미늄, 사파이어 등 다양한 재료의 에칭에 사용됩니다. TEL UW300Z는 모듈식 설계를 통해 인간의 개입 없이 웨이퍼를 로드/언로드, 저장 및 전송할 수 있으며, 잠재적 인 오염 또는 손상을 최소화합니다. 오픈 아키텍처 (open architecture) 를 제공하여 기존 운영 시스템으로의 통합을 거의 지원하지 않습니다. 이 장비는 처리 전에 웨이퍼를 저장하여 처리량 (throughput) 과 자동화 (automation) 를 높일 수 있도록 설계되었습니다. 직관적인 제어판은 운영 정보, 자가 진단 시스템, 실시간 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 오염 또는 손상을 방지하기 위해 보호 실드, 입자 및 화학 완화를위한 여과 시스템, 기계와 웨이퍼의 무결성을 보장하기 위해 다양한 안전 인터 록 (safety interlock) 이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON UW 300Z는 또한 높은 정밀도, 향상된 생산성, 향상된 통합 및 유연성을 제공합니다. 다양한 TEL 에칭 계획 및 기타 상업용 레시피와 호환되도록 설계되었습니다. 개방형 아키텍처 소프트웨어 모듈 (open architecture software module) 과 실시간 프로세스 모니터 (real-time process monitor) 를 통해 사용자는 자신의 프로세스를 특정 요구 사항에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 스테이션에는 정밀 온도 및 시간 제어, 고정밀 웨이퍼 정렬, 웨이퍼 검사 도구 (wafer checking tool) 용 내장 광원이 장착되어 있습니다. 또한 TEL/TOKYO ELECTRON UW300Z는 물리적/화학적 습식 에칭에서 도금 및 성형까지 여러 프로세스 구성을 지원할 수 있습니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON UW 300 Z는 탁월한 정밀도와 생산성을 제공하도록 설계되었습니다. 생산성, 유연성, 정확성 향상을 필요로 하는 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 반도체 생산의 웨이퍼 처리 요구 사항에 적합합니다. 이 자산은 또한 업계 표준 안전 측정 (Standard Safety Measure) 과 함께 높은 수준의 통합을 통해 우수한 품질의 에칭을 제공 할 수 있습니다.